微機電系統設計 ——建模、仿真與可視化

微機電系統設計——建模、仿真與可視化

		半導體科學與技術叢書
		盧桂章,趙新 著
		科學出版社		2010年10月出版
		定價：56.00		語種：中文
		標準書號：978-7-03-029220-9		裝幀：精裝
		版本：第一版		開本：B5
		責任編輯：張靜,於宏麗		字數：350千字
		讀者對象：本科以上文化程度		頁數：279
		書類：本科高年級/研究生教育		冊/包：
		編輯部： 科學數理分社
		附註：

內容簡介

本書目錄

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本書建立了一種微電子機械器件的設計方法，對現有設計系統功能作了一些重要的補充和完善，其基本思路是在設計階段，當版圖和工藝設計完成後，通過建立運動部件的動態模型，進行三維可視化仿真，形成器件在虛擬環境中運行，從而對器件的運動功能進行評測。這種功能主要體現在：套用三維可視化技術得到器件加工後的三維實體模型和進行可加工性驗證；對此實體模型進行動態建模，並進行虛擬運行，以考察其運動性能；建立基於IP庫的設計系統，提供了一種自頂向下和自底向上相結合的設計手段。系統是開放的，各種功能都有延伸發展的空間。
本書可供微電子機械設計人員參考使用，也可作為相關專業高年級本科生和研究生的專業課教材和學習參考書。