常壓金屬有機化學氣相沉積

中文名稱常壓金屬有機化學氣相沉積
英文名稱atmospheric pressure metalorganic chemical vapor phase deposition
定  義在常壓條件下,將金屬有機化合物通過氣相輸運到材料的襯底上的工藝。生長的薄層不一定是單晶。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科)

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