| 中文名稱 | 低壓金屬有機化學氣相沉積 |
| 英文名稱 | low pressure metalorganic chemical vapor phase deposition |
| 定 義 | 在低於一個大氣壓條件下，將金屬有機化合物通過氣相輸運到材料的襯底上的工藝。生長的薄層不一定是單晶。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
| 中文名稱 | 低壓金屬有機化學氣相沉積 |
| 英文名稱 | low pressure metalorganic chemical vapor phase deposition |
| 定 義 | 在低於一個大氣壓條件下，將金屬有機化合物通過氣相輸運到材料的襯底上的工藝。生長的薄層不一定是單晶。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
中文名稱 低壓金屬有機化學氣相沉積 英文名稱 low pressure metalorganic chemical vapor phase deposition 定義 在低於一個大氣壓條件下,將金屬有機化合物通過氣相...
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