X射線光電子能譜法

中文名稱	X射線光電子能譜法
英文名稱	X-ray photoelectron spectroscopy，XPS
定　　義	以單色X射線為光源，測量並研究光電離過程發射出的光電子能量及相關特徵的方法。能夠給出原子內殼層及價帶中各占據軌道電子結合能和電離能的精確數值。
套用學科	材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料科學基礎（三級學科），材料的表征與測試（四級學科）