負片型感光樹脂

特性

指在光刻過程中光照部分的聚合物的分子量加大，溶解度下覆蓋表面得到保護降，使受光樹脂在顯影時得以保留，毛光照部分在顯影時脫保護被腐蝕掉，未受由於非保護部分與入射能夠作為負片型感光樹光相反，因此稱為負片型感光樹脂。能夠作為負片}!`,}J1}}1脂的聚合物應具有光交聯，或者光聚合能力。與光敏劑配合，可以作為光敏塗料、光敏膠和負性光刻膠使用。