氟化物分解法化學上極為穩定，非常難以分解。同樣具有難分解性質的碳氟化合物的分解處理方法有焚燒分解法、等離子分解法、使用觸媒的分解法。
簡介,焚燒分解法,分解過程,
簡介
等離子方法較其他技術相比，極為困難，而觸媒方法因在HFC-23的分解技術上沒有實際的成果，故本項目選用焚燒分解法。
焚燒分解法
焚燒的分解法，具有大型焚燒爐技術的有爐(KILN)方法、液中燃燒方法、氣體?煙霧方法。液中燃燒法主要將液體的或氣體狀的有機氟化物投至燃燒的焚燒爐（液體時，進行噴霧）進行分解，爐內溫度一般為1200~1350℃，主要適用於大型焚燒爐技術；過熱蒸汽分解裝置是讓氣體狀化的有機氟化物和水蒸汽通過配管狀的小型爐，在850~1000℃度時分解氟化合物，主要適用於小型焚燒爐技術。
技術液中燃燒方式過熱蒸汽分解方式
分解過程
1、含有HFC-23和HCFC-22的排汽，引導至焚燒爐的燃燒器。
2、燃燒器中，因氫氣等助燃劑的燃燒，進行分解。
3、在進行氧的氧化分解的同時，產生HF、HCl、CO2。
4、分解後的氣體，一起噴出至吸收冷卻罐，與液體直接接觸時瞬時冷卻，此時，HF、HCl被水吸收。
5、尾氣在尾氣洗滌塔中被中和後高空排放。
6、排水送廢水處理設備。
