接觸複印

接觸複印（contact printing）是使塗覆於基片上的感光材料膜與光掩模圖形面直接接觸（一般採用真空吸附），通過光源照射，實現選擇性曝光以複印出光掩模圖形。

基本介紹

• 中文名：接觸複印
• 外文名：contact printing

如果採用帶正性光學抗蝕劑的基板複印，複印的結果是透明極性與原版一致，圖形方向相反（即鏡像關係）。如果採用乳膠板複印，複印的結果是透明極性與原版相反。