一種用於輔助微細超聲加工的蝕刻液及其製備方法

一種用於輔助微細超聲加工的蝕刻液及其製備方法，申請日2015.07.09，發明人袁聰。

專利信息

申請號­CN201510397803
申請日2015.07.09
公開（公告）號­CN104947109A
公開（公告）日2015.09.30
IPC分類號C23F1/16
申請（專利權）人湖南城市學院;
發明人袁聰;
優先權號
優先權日
申請人地址湖南省益陽市赫山區迎賓東路518號;
申請人郵編413000;

專利介紹

本發明公開一種用於輔助微細超聲加工的蝕刻液，所述蝕刻液專門針對輔助微細超聲加工研製，所述蝕刻液由以下質量百分含量的組分組成：氯化鐵5～15%、酸3～5%、苯並三唑2～4%、乙二胺1～2%、十二烷基磺酸鈉2～3%，餘量為水；所述酸由高氯酸、次氯酸和磺酸組成，而且所述高氯酸、次氯酸和磺酸的質量比為(1～3)：(6～14)：(15～26)。本發明所述蝕刻液具有較低的蝕刻速度，而且側蝕量較小，能夠有效用於輔助微細超聲加工。本發明還公開了所述蝕刻液的製備方法，以及所述蝕刻液在輔助微細超聲加工中的用途。