《電阻率測試理論與實踐》是2011年冶金工業出版社出版的圖書，作者是孫以材，汪鵬，孟慶浩。
基本介紹
圖書相信,內容簡介,目錄,
圖書相信
內容簡介
《電阻率測試理論與實踐》以電阻率測量中廣泛使用的探針技術為對象，對電阻率測試中許多理論問題作了深入討論，如靜電場有限元理論、圖形變換理論、鏡像源理論、互易定理及其證明，為創造新的測試法打下堅實基礎和空間。
目錄
1 緒論
1.1 電阻率測試對半導體材料與器件的重要性
1.2 電阻率測試對工業領域的重要性
1.3 電阻率測試對地質物探領域的重要性
1.4 電阻率測試對醫學領域的重要性
1.4.1 中風的檢測與監護
1.4.2 肺梗塞的診斷
1.4.3 乳腺腫瘤的診斷
1.4.4 其他套用
2 四探針法電阻率測量基本原理
2.1 電阻率測量的實質問題——反演問題
2.2 四探針技術在半導體測量領域中的套用
2.2.1 作為最為廣泛的工藝監測手段之
2.2.2 測試拋光的矽單晶和矽片的少子壽命
2.2.3 評估VLSI互聯金屬薄膜可靠性
2.3 四探針技術在其他方面的套用
2.3.1 用於構件和材料的無損檢測
2.3.2 作為晶片內部質量探測分析的工具
2.4 四探針法的分類
2.4.1 直線四探針法
2.4.2 方形四探針法
2.4.3 范德堡法
2.5 四探針技術的研究現狀
2.6 拉普拉斯方程及其在三維電流場中的分析解
2.6.1 直線四探針法的原理
2.6.2 直線四探針法的測準條件簡述
2.7 拉普拉斯方程及其在平面電流場中的分析解
2.8 直線四探針法的測量區域的局限性
2.9 四探針法中的邊緣幾何效應修正及鏡像源理論
2.9.1 四探針法中的邊緣幾何效應修正
2.9.2 直線四探針法中鏡像源理論的厚度修正
2.10 兩種四探針法的幾何效應修正的相關性
2.10.1 引言
2.10.2 推論及其結果
2.10.3 實驗驗證結果
2.10.4 小結
2.11 四探針法中的幾種圖形變換理論簡介
2.12 電阻率測量中的互易定理及其證明
2.12.1 互易定理的定義
2.12.2 Kirchhoff方程
2.12.3 Kirchhoff方程的解
2.12.4 在迴路中設定電阻器尺卿和尺
2.12.5 在電阻率測試的薄層樣品中的互易定理
2.12.6 體電阻率測量時的互易定理及其證明
3 靜電場數值計算有限元方法
3.1 靜電場中重要定律和方程
3.1.1 歐姆定律
3.1.2 奧高定律
3.1.3 靜電場中的泊松方程
3.1.4 高斯定理
3.1.5 格林定理
3.1.6 靜電場能量
3.2 變分原理與泛函
……
范德堡法其其改進電阻測量基本原理
魯美采夫斯法及其改進法電阻率測量基本原理
電阻率Mapping技術
電阻率測試的EIT技術
