中文名稱 | 電阻加熱蒸發 |
英文名稱 | resistance heating evaporation |
定 義 | 把蒸發材料放入適當形狀的電阻加熱體內,通電使蒸發材料直接加熱蒸發,或者把蒸發材料放入Al2O3等坩堝中進行間接加熱蒸發。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科) |
中文名稱 | 電阻加熱蒸發 |
英文名稱 | resistance heating evaporation |
定 義 | 把蒸發材料放入適當形狀的電阻加熱體內,通電使蒸發材料直接加熱蒸發,或者把蒸發材料放入Al2O3等坩堝中進行間接加熱蒸發。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科) |
把蒸發材料放入適當形狀的電阻加熱體內,通電使蒸發材料直接加熱蒸發,或者把蒸發材料放入Al2O3等坩堝中進行間接加熱蒸發。 套用學科 材料科學技術(一級學科),材料科...
電子束是一種高速的電子流。電子束蒸發是目前真空鍍膜技術中一種成熟且主要的鍍膜方法,它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題。[1] ...
蒸發技術分為間歇蒸發與連續蒸發、直接電阻加熱蒸發和間接電阻加熱蒸發,連續生產與製造厚膜時採用連續蒸發加熱。一個入射的蒸氣原子在表面的滯留時間中,原子不斷地...
在電阻絲加熱的舟中進行的熱蒸鍍 熱蒸鍍影響沉積薄膜質量的因素 編輯 熱蒸鍍蒸發腔內熱物體產生的蒸發物 蒸發腔內熱物體(如加熱燈絲)產生的雜質蒸發物會影響腔...
在真空鍍膜設備中, 電子束蒸發源雖遠較電阻加熱式蒸發源複雜, 但因其能蒸鍍難熔材料, 膜層純度高, 而優於電阻加熱蒸發源。...
真空蒸鍍基本原理是在真空條件下,使金屬、金屬合金或化合物蒸發,然後沉積在基體表面上,蒸發的方法常用電阻加熱,高頻感應加熱,電子束、雷射束、離子束高能轟擊鍍料,...
基底加熱系統由4個石英燈組成,真空室的兩邊各兩個。 [3] 薄膜沉積的傳統方法一直是熱蒸發,或採用電阻加熱蒸發源或採用電子束蒸發源。薄膜特性主要決定於沉積原子...
北京泰科諾科技有限公司於2003-07-04在昌平分局登記成立。法定代表人彭建,公司經營範圍包括生產組裝磁控濺射鍍膜設備、電阻加熱蒸發鍍膜機等。...
2.3 蒸發源2.3.1 電阻加熱式蒸發源2.3.2 電子槍加熱蒸發源2.3.3 感應加熱式蒸發源2.3.4 空心熱陰極電子束蒸發源2.3.5 雷射加熱蒸發源...