電阻加熱蒸發

中文名稱電阻加熱蒸發
英文名稱resistance heating evaporation
定  義把蒸發材料放入適當形狀的電阻加熱體內,通電使蒸發材料直接加熱蒸發,或者把蒸發材料放入Al2O3等坩堝中進行間接加熱蒸發。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)

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