電子探針方法

電子探針方法是利用高能電子束對樣品進行成分分析的方法。基本原理是利用電磁透鏡聚焦的高能電子束轟擊固體表面的某一點，被轟擊的元素激發出特徵X射線，而特徵X射線輻射的頻率是發射元素原子序數的函式，因而通過對特徵X射線頻率和強度的分析便可得到樣品表面元素分布和形貌特徵。

當前，電子探針是對無機和有機材料進行顯微分析的最有效的工具之一。用它可以得到樣品內空間解析度為1微米的成分信息。電子探針還可獲得X射線掃描圖像，顯示出掃描區域內的元素分布，而且可以對感興趣的不同區域的相對成分作比較。由於此法能分析原子序數3到92號之間的所有元素，因而已被廣泛用於地質、冶金、材料和生物學等各個領域的研究。