退火爐

退火爐是在半導體器件製造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使緻密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業爐，超節能結構，採用纖維結構，節電60%。

基本介紹

• 中文名：退火爐
• 外文名：Furnace anneal
• 類型：熱處理爐
• 作用：大型碳鋼、合金鋼零件的退火
• 加熱方式：電加熱、燃油、燃氣等
• 定義：節能型周期式作業爐
• 節電：60%

簡介

熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調質爐，主要用於大型碳鋼、合金鋼零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除應力退火、時效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風循環。退火爐是一種新型換熱設備。退火爐是節能型周期式作業爐，超節能結構，採用纖維結構，節電60%。

結構

退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板採用冷薄板，台車用槽鋼作主梁，底板及前後端板採用中板。

退火爐

退火爐傳動部分：台車傳動採用電動機、減速機通過鏈條帶動前端一組主動輪傳動。爐門傳動是採用蝸輪減速機和電動機組合電動升降。

密封：台車與爐體密封採用迷宮式結構，並在台車兩側有自動沙封刀密封裝置。爐門密封採用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動機構密封該爐爐體部分採用優質耐火磚結構，保證爐膛密封性。在台車耐壓部分採用高鋁磚砌築，下部均添保溫磚保溫。

退火爐燃燒系統：在油爐兩側各安裝數隻燒咀，熱流在爐內往復循環，確保爐溫均勻性。根據需要可選定自動型和半自動型。

排煙預熱裝置：在爐後上端安裝了排煙預熱裝置，爐內的煙氣通過預熱器時，由風機送入冷風進行預熱，再由管路送至燒咀進行助燃，並在出口安裝一隻手動碟閥，該閥可調節爐內壓力。廣泛套用於化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫藥、集中供熱等工業部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發等工藝過程中。

分類

台車式退火爐

台車式退火爐是國家標準節能型周期式作業爐，超節能結構，採用纖維結構，節電30%。獨家生產採用複合式高鋁瓷釘組，台車防撞擊密封磚，自動密封台車和爐門，一體化連軌，不需基礎安裝，放在水平地面即可使用。主要用於高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不鏽鋼等淬火、退火、時效以及各種機械零件熱處理之用。

產品特點：

1、無噪聲，無環境污染。

2、蓄熱性小，熱量流失少。

3、控溫精度高，爐溫均勻性強。

4、自動化程度高，操作簡單。

5、可採用PID編程設定，全自動運行。

6、密封性好，壽命長，安全可靠。

廣泛套用於化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫藥、集中供熱等工業部門。隨著社會生產力的發展，其在各行業中的套用越來越廣泛。

井式退火爐

用途：供金屬機件、環件等在額定的溫度下進行熱處理。

設備簡介：

本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統組成。

1、爐體外殼採用型鋼及鋼板焊接而成。

2、爐蓋支撐採用型鋼和導軌組合移動式。

3、加熱元件採用北京首鋼產的高電阻合金布置在爐側。

4、爐底由於承重採用高鋁磚砌築，爐子中心採用大圈套小圈做法，里外加熱。

5、爐蓋採用液壓升降，電機控制自動行走。

6、溫控系統採用PID可控矽控制，精度高。

箱式退火爐

用途：主要用鋼製工件的淬火、正火、退火等常規熱處理之用的專用設備。

特點：

1、電爐裝載量大、生產率高，特別適用於小、中型機件的熱處理加熱用，節能達30%，爐溫均勻，智慧型數顯表PID（如圖)自動控制爐溫，精密高；

智慧型數顯表PID

2、電爐裝御料方便，操作條件好；

3、爐門與爐體的密封為自動密封，無需人工密封；

4、電爐設有連鎖保護裝置，可防止因誤操作而發生的故障及事故。

罩式退火爐

罩式退火爐主要用於在自然氣氛中進行薄板材退火以及鋼件的正火處理。

1、特殊鋼、精密合金、大型全纖維台車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。

2、特殊鋼鑄、鍛件的退火。

3、矽鋼片成品退火。

4、金屬、非金屬粉末壓製作件的燒結等。

連續光亮退火爐

用途：用於不同規格銅直管（棒）、鋼管、鋁管或盤園在控制氣氛下連續光亮退火。

特點：工件連續通過預熱、加熱、保溫、緩冷、冷卻，不受長度限制。傳動採用托輥式同步傳動，變頻調速，平穩可靠。通保護氣氛和強力的熱氣氛循環，溫度均勻，內外表面十分光亮。冷卻區設計獨特，保證工件均勻冷卻。處理的產品內外表面光亮，產品質量高，生產率高。

加熱方式：電加熱或燃氣加熱。

生產線組成：前輥道料台、前換氣室、前預熱區、加熱爐、緩冷區、冷卻區（含過渡區及強風冷區）、後換氣室（含水冷區）後輥道料系統、計算機控制系統、電氣控制系統、保護氣氛裝置。

罩式光亮退火爐

特點：
1、材料整個退火工藝過程都置於保護氣氛中，經退火的工件表面光亮無氧化，材料表面不脫碳氧化。
2、由於爐內保護氣由特製風機強對流循環，爐溫均勻，使爐內溫差控制在5℃以內；從而有效保證爐內所有退火材料軟硬一致，便於材料深加工。
3、採用雙爐座升溫、冷卻，準連續作業模式。爐體結構科學合理，節能效果明顯，噸鋼能耗低國內領先。單爐最大裝容達90噸，生產效率高。
4、經該型爐處理的材料表面光亮，免除酸洗工藝，潔淨工作環境，消除了酸污染。
5、整套設備全部微機控制，自動化程度高，能有效保證產品質量和設備安全運行。
適用範圍：
1、黑色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件中間和成品光亮退火。
2、有色金屬銅帶、銅絲、銅管、銅棒中間和成品光亮退火。
3、標準件、鏈條、機械零部件等散件光亮退火。

退火爐按熱源分類

退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐套用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。