表面輪廓測量儀

表面輪廓測量儀，一台儀器即可滿足對表面微觀與巨觀幾何形貌進行研究的需要。測量精度高，技術性能優良，使用範圍廣泛，操作簡便。

基本介紹

• 中文名：表面輪廓測量儀
• 測量範圍：16μm/160μm
• 最高解析度：0.001μm
• 取樣長度L：0.08,0.25,0.8,2.5,8

用途

可對表面形狀進行測試和分析。

特點

一台儀器即可滿足對表面微觀與巨觀幾何形貌進行研究的需要。測量精度高，技術性能優良，使用範圍廣泛，操作簡便。

粗糙度測量系統的測量性能

：

評定長度................1×L,2×L,3×L,4×L,5×L

濾波器............................RC,PC，二乘，高斯

評定參數..........Ra,Rz,Ry,Rt,Rtm,Rp,Rv,Rpm,Rvm,Rq，△q，λq，△a,Sm,S,D,Sk,Rku,R3y,R3z,NR1,NR2,tp

圖像分析功能.......C-N（曲線－NR),A-B（幅度分布－支承率)C-B（曲線－支承率），B（支承率－圖表）

圖像放大倍數.........VV100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000、50000、10萬、20萬

......................VH2、5、10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000

直接輪廓測量系統的評定特性

測量範圍.......................16μm/160μm/1600μm

評定參數....Pp、Pv、Pz、Pt、Pa、Pq Psk、Pku、P△q、 Psm

圖像分析功能...C-B（曲線－支承率），C-N（曲線－NR)

E.波紋度測量系統的評定特性：測量範圍.......................16μm/160μm/1600μm

取樣長度Lτ...............2.5、8、25

評定長度..............2Lτ、3Lτ、4Lτ、5Lτ

評定參數........Wa、Wc、Wp、Wv、Wt、Wq、WSm

圖像分析功能................C-N（曲線－NR)

濾波器...............................高斯

套用領域

雷射輪廓測量儀採用高精度雷射位移感測器ZLDS100，非接觸實時監測被測物輪廓變化數據，可廣泛用於生產線上對各種規格的輪廓實時測量。可套用於包括火車輪緣、電機電子、手機外殼、輪胎表面、各種工件尺寸、包裝盒密封性等各種材質方面的輪廓線上測量監控。

基本構成

全封閉框架移動橋式測量機是一種精度高、測量速度快、性能穩定的測量系統

。具有兼容多測頭系統功能：光學CCD影像測頭、雷射測頭，具備極佳的性價比；能夠滿足車間檢測需要，廣泛套用於各種零件、工裝夾具尺寸檢測及模具製造中的尺寸測量和複雜形面的快速掃描檢測。

性能特點

⒈ X向橫樑：採用精密斜梁技術

⒉Y嚮導軌：採用獨特的直接加工在工作檯上的整體下燕尾槽定位結構

3導軌方式：採用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環抱式靜壓氣浮導軌

⒋驅動系統：採用本產高性能DC直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳

⒌Z向主軸：可調節的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度

6控制系統：採用進口的雙計算機三座標專用控制系統

⒎機器系統：採用計算機輔助3D誤差修正技術（CAA），保證系統的長期的穩定性和高精度。

⒏測量軟體：採用功能強大的3D-DMIS測量軟體包，具有完善的測量功能和在線上功能。

功能原理

簡單地說，三坐標測量機就是在三個相互垂直的方向上有導向機構、測長元件

、數顯裝置，有一個能夠放置工件的工作檯（大型和巨型不一定有），測頭可以以手動或機動方式輕快地移動到被測點上，由讀數設備和數顯裝置把被測點的坐標值顯示出來的一種測量設備。顯然這是最簡單、最原始的測量機。有了這種測量機後，在測量容積里任意一點的坐標值都可通過讀數裝置和數顯裝置顯示出來。

測量機的采點發訊裝置是測頭，在沿X，Y，Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數頭。其測量過程就是當測頭接觸工件並發出采點信號時，由控制系統去採集當前工具機三軸坐標相對於工具機原點的坐標值，再由計算機系統對數據進行處理。

主要特徵

⒈三軸採用天然高精密花崗岩導軌，保證了整體具有相同的熱力學性能，避免由於三軸材質不同熱膨脹係數不同所造成的機器精度誤差。

花崗岩與航空鋁合金的比較

1）鋁合金材料熱膨脹係數大（參數見下表）。一般使用航空鋁合金材料的橫樑和Z軸在使用幾年之後，三坐標的測量基準——光柵尺就會受損，精度改變。

材料	比重; （kg/dm³）	熱膨脹係數; （1/K）	截面導熱率; （W/mK）
鋼	7.80	10.4X10	42-63
航空鋁合金	2.90	23.8X10	210
陶瓷材料	3.40	8.0X10	28
花崗岩	2.77	6.5X10	3.5

2）由於三坐標的平台是花崗岩結構，這樣三坐標的主軸也是花崗岩材質。主軸採用花崗岩而橫樑和Z軸採用鋁合金等其他材質，在溫度變化時會因為三軸的熱膨脹係數不均同而引起測量精度的失真和穩定。

⒉ 三軸導軌上海歐潼採用全天然花崗岩四面全環抱式矩形結構，配上高精度自潔式預應力氣浮軸承，是確保機器精度長期穩定的基礎，同時軸承受力沿軸向方向，受力穩定均衡，有利於保證機器硬體壽命。

⒊ 採用上海歐潼小孔出氣專利技術，耗氣量為30L/Min，在軸承間隙形成冷凝區域，抵消軸承運動摩擦帶來的熱量，增加設備整體熱穩定性。仔細研究各廠家的技術指標，會發現：歐潼精密的耗氣量為30L/Min，而其他的廠家在50-150L/MIN之間.

按照物理學理論，當氣體以一定的壓力通過圓孔的時候，會因為氣體摩擦產生熱量，在高精密測量中，微小的熱量也會影響精度的穩定性，而當出氣孔的孔徑小於一定的直徑的時候，卻會相反的會在出氣孔的周圍形成冷凝效應！ 正是利用這一物理學原理，採用歐潼小孔出氣的技術，使得冷凝效應恰恰抵消測量中因為空氣摩擦產生的微弱熱量，使得設備保持長時間的溫度穩定性，從而保證精度穩定性！

各大供應商CMM軸承對比

	上海歐潼	合資其它公司	其它公司
氣浮軸承	歐潼的四面環抱軸承技術，保證驅動平順穩定	三面氣浮軸承	兩面或三面環抱
每分鐘; 耗氣量	30L/MIN	150L/MIN	70L/MIN
主支撐	主支撐高於台面，中心低，比較粗短，運行穩定，最大程度減少阿貝誤差	主支撐和台面相平，細長，重心高，運行時候阿貝誤差較大

⒋ 三軸均採用英國RENISHAW原裝鍍金光柵尺，解析度為0.1um；同時採用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形。

⒌傳動系統採用國際先進的設計，無任何導軌受力變形，最大程度保證機器精度和穩定性。採用鋼絲增強同步帶傳動結構，有效減少高速運動（增加）時的震動，具有高強度，高速度及無磨損特點。

⒍ 軟體為PTB全面認證的業界標桿RATIONAL-DMIS，功能強大，簡單易學，讓你更專注於產品測量而不是學習軟體。

主要優點

FLY系列測量機

表面陽極化航空鋁合金

高精度自潔式空氣軸承

高精度歐洲進口光柵尺

精密三角梁專利技術