維持泵

維持泵,在真空系統中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。

如擴散泵出口處配一台小型旋片泵,就是維持泵。
維持泵維持泵

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