矽是地球上儲藏最豐富的材料之一。矽材料因其具有耐高溫和抗輻射性能較好等優點得到廣泛套用。下面介紹兩種矽氣壓測量感測器。矽膜盒電容式氣壓感測器。其主要部件為變容式真空矽膜盒。固態壓阻式感測器是利用壓阻效應製成的矽單晶膜片式結構的壓強感測器。
基本介紹
- 中文名：矽氣壓測量感測器
- 外文名：Silicon pressure measurement sensor
- 舉例1：矽膜盒電容式氣壓感測器
- 舉例2：固態壓阻式感測器
- 結構1：其主要部件為變容式真空矽膜盒
- 結構2：矽單晶膜片式結構的壓強感測器
簡介,矽膜盒電容式氣壓感測器,固態壓阻式感測器,
簡介
矽是地球上儲藏最豐富的材料之一。矽材料因其具有耐高溫和抗輻射性能較好等優點得到廣泛套用。下面介紹兩種矽氣壓測量感測器。矽膜盒電容式氣壓感測器。其主要部件為變容式真空矽膜盒。固態壓阻式感測器是利用壓阻效應製成的矽單晶膜片式結構的壓強感測器。
矽膜盒電容式氣壓感測器
矽膜盒電容式氣壓感測器。其主要部件為變容式真空矽膜盒。感測器的基板是一個厚單晶矽層，其上有一鍍有金屬導電層的玻璃片，把一單晶矽薄膜用靜電焊接方法焊接到這個玻璃片上，對矽膜採用鍍金方法使其具有導電性，從而使導電玻璃片與矽膜構成平行板電容器，中間形成真空而構成矽膜盒。當大氣壓強發生變化時，真空膜盒的彈性單晶矽膜片產生形變而引起其電容量的改變，通過測量電容量來測量氣壓。矽膜盒電容式氣壓感測器已廣泛用於我國自動氣象站，其性能較為穩定，具有測量範圍寬，滯差極小，重複性好及無電熱效應等優點。
固態壓阻式感測器
固態壓阻式感測器是利用壓阻效應製成的矽單晶膜片式結構的壓強感測器。其核心敏感元件是在周邊固定的矽單晶膜片上，採用集成工藝，在適當位置擴散4個半導體應變電阻，並將它們接成電橋。膜片兩側分別為密封真空腔和通入氣的氣壓腔。當膜片兩側存在氣壓差時，膜片變形，應變電阻在應力作用下阻值變化，電橋失去平衡，輸出相應的電壓。
