氦氣壓縮機

氦氣壓縮機是低溫泵系統或其他製冷單元的驅動單元，用於向低溫泵或其他製冷單元提供高純度氦氣。

內部結構

一般套用

氦氣壓縮機主要套用於半導體前道製程設備的蒸發、濺射和離子注入的真空系統，同時在天文、航天、醫療等領域也有廣泛的套用。

氦氣壓縮機可以驅動不同尺寸的低溫泵,按照法蘭的口徑分成：8英寸、10英寸和16英寸。

氦氣壓縮機也可以用於不同製造商生產的低溫泵。

最新套用

藍寶石長晶爐的冷卻籽晶的系統。