極紫外源出處是天文學,中國天文學名詞審定委員會
基本介紹
- 中文名:極紫外源
- 外文名:extreme-ultraviolet source
- 出處:天文學
- 通過部門:中國天文學名詞審定委員會
內容簡介
中文譯名 | 極紫外源 |
英文原名/注釋 | extreme-ultraviolet source |
極紫外源出處是天文學,中國天文學名詞審定委員會
中文譯名 | 極紫外源 |
英文原名/注釋 | extreme-ultraviolet source |
“極紫外源”是天文學專有名詞。來自中國天文學名詞審定委員會審定發布的天文學專有名詞中文譯名,詞條譯名和中英文解釋數據著作權由天文學名詞委所有。補充說明 “英漢天文學名詞資料庫”(以下簡稱“天文名詞庫”)是由中國天文學會天文學名詞審定委員會(以下簡稱“名詞委”)編纂和維護的天文學專業名詞資料庫。該數據...
極紫外是指電磁波譜中波長從121 納米到10 納米的電磁輻射所在的頻段。性質 極紫外光能夠電離幾乎所有的組成普通物質的原子和分子的特性使得它無法在普通物質(包括空氣)中傳播,只能在真空中傳播,所以極紫外光也稱為真空紫外光。因此,極紫外雷射無法在普通物質中產生和放大,只能在“特殊物質”中產生,這個“特殊...
紫外線根據波可分為近紫外線(低頻,UVA),遠紫外線(中頻,UVB),超短紫外線(高頻,UVC),和極紫外線(超高頻,EUV)。高頻短波UVC 高頻短波紫外線簡稱UVC,是波長280nm~200nm的高頻紫外線,波長較短,能量較高。短波紫外線在經過地球表面同溫層時被臭氧層吸收,不能到達地球表面。短波紫外線對人體可產生重要...
極紫外光刻(Extreme Ultra-violet),常稱作EUV光刻,它以波長為10-14納米的極紫外光作為光源的光刻技術。具體為採用波長為13.4nm 的紫外線。極紫外線就是指需要通過通電激發紫外線管的K極然後放射出紫外線。簡介 極紫外光刻(英語:Extreme ultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長的下一代光...
《放電電漿極紫外光刻光源關鍵物理及技術問題研究》是依託哈爾濱工業大學,由王騏擔任項目負責人的重點項目。項目摘要 Z箍縮放電電漿極紫外(EUV)光源,巧妙地將慣性約束核聚變中獲得高溫、高密度電漿的Z箍縮技術移植到小尺寸放電結構中,產生相同高溫的電漿所需放電電流大幅減少,降低了對放電裝置的要求。...
高重複頻率極紫外超快相干光源系統是一種用於物理學、材料科學、機械工程、力學領域的雷射器,於2019年11月11日啟用。技術指標 1.放大級雷射部分 重複頻率:10kHz 單脈衝能量:1.5mJ 脈衝寬度:25fs 長期穩定性:0.5% RMS 2. 極紫外光源部分 波長調諧範圍:25-47nm (26-49eV) 紫外脈衝能量:5*1012ph/sec...
《雷射電漿極紫外光刻光源》是2018年國防工業出版社出版的圖書,作者是竇銀萍、宋曉偉、陶海岩。內容簡介 本書首先介紹了用於光刻的雷射電漿極紫外光源的國內外發展現狀,並系統地闡述了雷射電漿光源的相關理論。其次介紹了用於6.7nm光源探測的平像場光柵光譜儀的設計、搭建及標定。最後,詳細介紹了工作波長6...
極紫外線的特性被用於物理學上轉換物質的相互作用:比30奈米長的波長主要在化學上與物質的價電子相互作用,更短的波長與內殼層的電子和原子核進行相互作用。EUV/XUV光譜長波末端被設定為30.4奈米的顯著He譜線。絕大部分已知的物質對XUV都會強烈的吸收,但它也可以製成多層光學,對垂直入射的XUV輻射可以反射約50%。...
極紫外線光刻機(Extreme Ultra-violet),又通常被稱為EUV光刻機,它以波長為10~14納米的極紫外光作為光源的光刻技術,該設備當前可被套用於14納米及以下的先進制程晶片的製造。極紫外線光刻機是晶片生產工具,是生產大規模積體電路的核心設備,對晶片工藝有著決定性的影響。小於5納米的晶片晶圓,只能用EUV光刻...
在飛秒強光場驅動下產生高次諧波(HHG)並發展實驗室台面新型極紫外輻射光源有著豐富的研究前景,基於這一型光源的多體關聯符合測量、成像技術,能夠實現高精度的原子分子多體關聯過程探測。項目研究按照計畫進行,完成了相關的研究內容。開展了基於HHG的超快可調諧極紫外光源研製工作,在最佳化HHG輻射產生源、HHG輻射光...
極紫外光刻機曝光系統主要由反射鏡構成的照明光學系統(illumination optics)和投影光學系統(projection optics)組成。 極紫外光刻機曝光系統如圖1所示,圖中分別畫出了極紫外(EUV)光源、光照光學系統、投影光學系統等。光源發出的13.5nm波長的光線被吸收後,通過幾個反射鏡,形成所需要的光照方式,照射在掩模上。這...
極紫外探險者衛星(EUVE)是美國發展的一種科學與技術試驗衛星。這顆由美國NASA研製的天文衛星,主要用於在極紫外波段(7~76nm)進行巡天觀測,繪製極紫外天圖。1992年6月7日,EUVE衛星在佛羅里達州的卡納維拉爾角用德爾它 - 2運載火箭發射升空。概況 “極紫外探測者”(Extremer Ultraviolet Explorer,EUVE)衛星...
極紫外干涉儀是光源為極紫外光段波長的干涉儀。極紫外干涉儀的基本原理是:兩個極紫外光束對稱的照在有周期圖形的掩模版上,衍射光相互干涉,在晶圓表面形成周期性條紋,對光刻膠曝光。這樣形成的圖像不存在聚焦的問題,晶圓可以放置在距離掩模0.3-10mm的區域,選擇掩模版上不同周期的光柵,可以在晶圓表面形成不同...
由於高強度短波長光源的缺乏,薄膜材料的極紫外輻射損傷研究開展地極為有限。針對我國計畫發展的X射線自由電子雷射試驗研究,本項目擬結合雷射電漿光源和Schwarzschild微聚焦光學系統,在實驗室條件下建立波長可調的高強度極紫外微聚焦源,並利用此光源開展單層膜和多層膜光學元件的極紫外輻射損傷研究。分析不同材料、不...
2021年12月14日,中國工程院首次評選和發布“2021全球十大工程成就“,其中包括極紫外光刻系統。發展歷史 極紫外光刻系統以波長13.5納米的極紫外光為光源,可實現將晶片製程最小工藝節點推進至7納米、5納米甚至3納米。2019年,荷蘭阿斯麥公司成功推出新一代極紫外光刻系統,代表了當今最先進的第五代光刻系統,可望將...
大連光源是中國科學院研製的中國第一台大型自由電子雷射科學研究用戶裝置,是當今世界上唯一運行在極紫外波段的自由電子雷射裝置,也是世界上最亮的極紫外光源。2017年1月15日,大連光源成功發出了世界上最強的極紫外自由電子雷射脈衝,單個皮秒雷射脈衝產生140萬億個光子,成為世界上最亮且波長完全可調的極紫外自由電子...
極紫外光刻機,選取了新的方案來進一步提供更短波長的光源。目前主要採用的辦法是將準分子雷射照射在錫滴液發生器上,激發出13.5nm的光子,作為光刻機光源。ASML(阿斯麥) 目前其是全世界唯一一家能夠設計和製造EUV光刻機設備的廠商。根據操作方式的不同。可分為接觸式光刻、直寫式光刻、投影式光刻。接觸式光刻...
太陽爆發時X射線通量突然增強的現象,稱為X射線耀斑;波長在0.01~100埃之間。耀斑在極紫外波段有明顯表現,可以用來監測。 質子耀斑 英文名稱:Solar proton flare 在耀斑發射的粒子事件中,當地球同步軌道探測到的質子能量大於10兆電子伏的通量超過10pfu時,表明這種事件中有很強的質子流,即發生質子事件,與之相對應的源...
極紫外光刻技術 提高光刻技術解析度的傳統方法是增大鏡頭的NA或縮 短 波 長,通 常 首 先 采 用 的 方 法 是 縮 短 波長。早在80年代,極紫外光刻技術就已經開始理論的研究和初步的實 驗,該技術 的光源是波 長 為11~14 nm的極端遠紫外光,其原理主要是利用曝光光源極短的波長達到提高光刻技術解析度...
極紫外光刻技術 提高光刻技術解析度的傳統方法是增大鏡頭的NA或縮 短 波 長,通 常 首 先 采 用 的 方 法 是 縮 短 波長。早在80年代,極紫外光刻技術就已經開始理論的研究和初步的實 驗,該技術 的光源是波 長 為11~14 nm的極端遠紫外光,其原理主要是利用曝光光源極短的波長達到提高光刻技術解析度...
近紫外線(near UV):200-380nm。真空紫外線(vacuumUV):10-200nm。極紫外線、極端紫外線(Extreme UV) :1-10nm。2)從人類健康和環保角度,還可分為UVA(315~400nm)、UVB(280~315nm)、UVC(280nm以下)。3)另外一種分類方法是單模,多模。單模:1310nm。多模:850nm。分光器通用接口有3種,一...
( 7 ) 極紫外光源關鍵技術研究, 主持, 國家級, 2018-01--2020-12 ( 8 ) 硬X射線自由電子雷射裝置/極端光物理總體, 主持, 省級, 2018-04--2025-04 ( 9 ) LPP-EUV光刻光源關鍵技術研究, 主持, 省級, 2018-11--2020-10 ( 10 ) 超強超短雷射技術, 主持, 國家級, 2020-01--2024-12 ( 11...
亮牆的整體都要比周圍區域明亮,尤其是牆頂的亮度更高,在SDO的多個極紫外波段可見。亮牆的平均高度為3.6兆米。亮牆的頂部上下運動,形成連續的振盪,平均振幅和平均振盪速度分別為0.9兆米和15.4千米/秒。通過對亮牆的高度變化進行小波分析,發現亮牆的主振盪周期為3.9分鐘。科研人員提出,壓力波引起的太陽徑向...
極紫外光譜成像儀(FUVSI)寬視角極紫外線成像儀(WFAI)中性原子成像儀(NAIK)磁通門磁強計(FGM)高能帶電粒子探測儀器(HECPE)三頻相干信標(RSE)夸父B衛星初步考慮:自旋轉速: 6rpm 星體直徑:2.9m 星體高度:1.3m 電源功率:300W 質量:總質量:400kg 其中載荷:43kg 壽命:>3年 相關技術 關鍵技術 有專家...
在極紫外(EUV)和軟x射線的太陽圖像中,日冕洞表現為太陽日冕中的黑暗區域。它們看起來是黑色的,因為它們比周圍的電漿更冷,密度更低,且具有開放的磁場。這種開放的磁場線結構使太陽物質更容易逃逸到太空中,從而產生相對較快的太陽風流,快速太陽風壓縮背景慢速太陽風會形成共轉相互作用區。發展過程 地磁暴發生...
著陸器上的月基光學望遠鏡也開展了觀天探測,極紫外相機對地球電漿層也進行了觀測。這兩項都為世界上首次月面進行的探測活動。 此外,兩器之間還開展了UHF等通訊實驗,月球車在此期間還進行了巡視,在多個探測點都開展了相關的探測工作,測月雷達、全景相機、粒子激發X射線譜儀、紅外成像光譜議都取得了大量的...
長期從事加速器先進光源方面的研究,在Physical Review Letters, Nature Photonics, Optica, Advanced Photonics, The Innovation等國內外期刊、學術會議發表論文140餘篇。同時,參加上海極紫外自由電子雷射、大連相干光源、軟X射線自由電子雷射、硬X射線自由電子雷射裝置等大型科研平台的實驗與建設工作。科研項目 ( 1 ) ...
黃永盛在超強雷射驅動電漿強場加速離子及短壽命謬子束瞬時加速機制、世界首台伽瑪光子對撞機及中國未來正負電子對撞機等大科學裝置前沿研究、極紫外光源和加速器核藥製備以及閃放癌症治療等前沿技術產業化均有研究成果,具體如下:1、在基礎科學研究方面,系統深入研究了雷射與電漿相互作用加速離子的物理機制,發現...
