contact printing一種原始的複製工藝。將光學掩模版圖形面與待光刻區域光致抗蝕劑〔或感光乳膠)表面接觸而曝光。
contact printing一種原始的複製工藝。將光學掩模版圖形面與待光刻區域光致抗蝕劑〔或感光乳膠)表面接觸而曝光。 ...
接近式光刻,又稱非接觸式光刻。是一種使塗敷在從片上的光敏材料,經受穿過與其接近但不接觸的光學掩模版的光福照曝光,從而複印出光學掩模版圖形的方法。 ...
a.接觸式曝光(Contact Printing):掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形解析度相當,設備簡單。接觸式,根據施加力量的方式不同又分為:軟接觸,...
a、接觸式曝光(Contact Printing)。掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形解析度相當,設備簡單。缺點:光刻膠污染掩膜板;掩膜板的磨損,壽命很...
光刻技術成為一種精密的微細加工技術。中文名 光刻技術 外文名 photolithography 原理 光學- 化學反應原理等 分類 微細加工技術 曝光方式 接觸式曝光,非...
在狹義上,光刻工藝僅指光複印工藝,即圖1中從④到⑤或從③到⑤的工藝過程。雷射光刻曝光方式常用的曝光方式分類 編輯 接觸式曝光和非接觸式曝光的區別,在於曝光...
接觸式曝光指掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形解析度相當,設備簡單。接觸式,根據施加力量的方式不同又分為:軟接觸,硬接觸和真空接觸。...
7.5 接觸式/接近式光刻機7.6 投影光刻機7.7 先進掩模概念7.8 表面反射和駐波7.9 對準7.10 小結習題參考文獻第8章 光刻膠...