戴忠玲

戴忠玲，女，畢業於大連理工大學，博士，大連理工大學教授、博士生導師、碩士生導師。

基本介紹

• 中文名：戴忠玲
• 畢業院校：大連理工大學
• 學位/學歷：博士
• 專業方向：電漿物理
• 任職院校：大連理工大學

人物經歷

教育經歷

2000.9-2004.7 大連理工大學電漿物理博士

1986.9-1989.7 吉林大學固體物理碩士

工作經歷

1989.7至今 物理學院教師

學術成果

論文成果

左春彥,高飛,戴忠玲,王友年.高功率微波輸出窗內側擊穿動力學的PIC/MCC模擬研究[J],物理學報,2018,22:340-350

左春彥,高飛,戴忠玲,王友年.高功率微波輸出窗內側擊穿動力學的PIC/MCC 模擬研究[J],物理學報,2018,67(22):267-278

戴忠玲,董婉,宋遠紅,王友年. Effect of ion bombardment time on the profile of atomic layer etching[A],2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics,2018

董婉,王喜鳳,宋遠紅,戴忠玲,王友年.Effect of plasma uniformity on etching profiles[A],The 71st Annual Gaseous Electronics Conference,2018

董婉,戴忠玲,宋遠紅,王友年.ALE of SiO2 by alternating CF4 plasma with energetic Ar+ plasma beams[A],7th international conference on microelectronics and plasma technology,2018

Ma, Xiaoqin,Zhang, Saiqian,Dai, Zhongling,Wang, Younian.Study on atomic layer etching of Si in inductively coupled Ar/Cl-2 plasmas driven by tailored bias waveforms[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2017,19(8,SI)

發明專利

一種用於電漿刻蝕的元胞-水平集聯合模擬方法

一種用於電漿刻蝕的元胞-水平集聯合模擬方法

著作成果

計算物理學習指導

大學物理實驗（第二版）

大學物理實驗

科研項目

雙頻電容耦合放電電漿流體動力學數值模擬, 國家自然科學基金項目, 2005/09/01, 完成

基於水平集方法的三維電漿刻蝕剖面演化規律研究, 2008/07/15-2010/12/31, 完成

脈衝調製電漿增強原子層刻蝕多尺度研究, 國家自然科學基金項目, 2013/09/25-2017/12/31, 完成

反應離子刻蝕微觀不均勻性的跨尺度研究, 國家自然科學基金項目, 2009/09/25-2012/12/31, 完成

四面體格線劃分技術合作項目, 企事業單位委託科技項目, 2018/09/20-2020/01/30, 進行

獲獎記錄

2012-2013學年優秀班主任 （2013年）

本科生課外科技活動優秀指導教師 （2013年）

中國大學生計算機設計大賽 （周陽 曹柯） （2012年）

校教學質量優良獎 （2011年）

校教學質量優良獎 （2008年）