射頻功率源

基本介紹

• 中文名：射頻功率源
• 套用：射頻濺射、電漿套用

射頻功率源又稱射頻電源，是可以產生固定頻率（13.56MHz,27.12MHz等頻點）的正弦波、具有一定功率的電源。

已廣泛套用於半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產業；科學實驗中的電漿發生；射頻感應加熱；醫療美容；常壓電漿消毒清洗等。