外延襯底

中文名稱外延襯底
英文名稱epitaxial substrate
定  義具有特定晶面和適當電學、光學和機械特性的用於生長外延層的潔淨單晶薄片。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科)

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