| 中文名稱 | SOS外延片 |
| 英文名稱 | silicon on sapphire epitaxial wafer，SOS expitaxial wafer |
| 定 義 | 在藍寶石襯底上外延生長的矽單晶薄膜材料。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），矽基半導體材料（三級學科） |
| 中文名稱 | SOS外延片 |
| 英文名稱 | silicon on sapphire epitaxial wafer，SOS expitaxial wafer |
| 定 義 | 在藍寶石襯底上外延生長的矽單晶薄膜材料。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），矽基半導體材料（三級學科） |