六氟乙烷

六氟乙烷

六氟乙烷(hexafluoroethane),又稱全氟乙烷,是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代後的產物,是鹵代烴(化學式:C2F6),亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶於水,微溶於

基本介紹

  • 中文名:六氟乙烷
  • 英文名:Hexafluoroethane
  • 別稱:全氟乙烷、R116製冷劑
  • 化學式:C2F6
  • 分子量:138.01
  • CAS登錄號:76-16-4
  • EINECS登錄號:200-939-8
  • 熔點:-100.6℃
  • 沸點:-78.2℃
  • 水溶性:0.0015%
  • 密度:5.734 kg·m-3 (24℃)
  • 外觀:無色無臭氣體
  • 閃點:無意義(不燃)
  • 套用:用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,高介電強度冷卻劑
  • 危險性符號:N
  • 危險性描述:對環境有害
  • 危險品運輸編號:UN 2193 2.2
物性數據,分子結構數據,計算化學數據,製備,套用,毒理學數據,安全信息,應急措施,急救措施,消防措施,泄漏處理,操作處置與儲存,操作注意事項,儲存注意事項,個體防護,廢棄處置,運輸信息,法規信息,

物性數據

1、性狀:無色、無臭的氣體。
2、密度(g/mL,25℃):1.607
3、相對蒸汽密度(g/mL,空氣=1):4.7
4、熔點(ºC):-100.6
5、沸點(ºC,常壓):-78.2
6、臨界溫度(K):19.85
7、臨界壓力(MPa):3.043
8、臨界密度(g·cm-3):0.622
9、臨界體積(cm3·mol-1):221
10、臨界壓縮因子:0.276
11、偏心因子:0.245
12、飽和蒸氣壓(kPa,20 ºC):182
13、van der Waals面積(cm2·mol-1):6.900×109
14、臨界溫度(ºC):145.7
15、臨界壓力(MPa):3.29
16、 Lennard-Jones參數(A):5.5571
17、 Lennard-Jones參數(K):161.14
18、 van der Waals體積(cm3·mol-1):42.660
19、溶解性:微溶於水
20、氣相標準聲稱熱(焓)( kJ·mol-1):-1343
21、氣相標準熵(J·mol-1·K-1) :332.5
22、相標準生成自由能( kJ·mol-1):-1257.0
23、氣相標準熱熔(J·mol-1·K-1):106.54

分子結構數據

1、 摩爾折射率:12.22
2、 摩爾體積(cm3/mol):94.3
3、 等張比容(90.2K):158.9
4、 表面張力(dyne/cm):8.0
5、 介電常數:無可用
6、 偶極距(10-24cm3):無可用
7、 極化率:4.84

計算化學數據

1、疏水參數計算參考值(XlogP):無
2、氫鍵供體數量:0
3、氫鍵受體數量:6
4、可旋轉化學鍵數量:0
5、互變異構體數量:無
6、拓撲分子極性表面積:0
7、重原子數量:8
8、表面電荷:0
9、複雜度:61.5
10、同位素原子數量:0
11、確定原子立構中心數量:0
12、.不確定原子立構中心數量:0
13、確定化學鍵立構中心數量:0
14、不確定化學鍵立構中心數量:0
15、共價鍵單元數量:1

製備

活性炭與氟為原料,在裝有活性炭的反應爐中緩慢通入高濃氟氣,通過控制電加熱,供氟速率和冷卻反應爐來控制反應溫度。反應產物經過除塵、鹼洗、脫水後,可獲得含CF4、C2F6、C3F8的粗品,然後把粗品混合物進行間歇低溫精餾,提取C2F6,再用分子篩進一步進行低溫吸附脫水,可獲得純度大於99.7%的C2F6

套用

六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術,常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用於蝕刻矽上的二氧化矽。
六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用於製冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。

毒理學數據

急性毒性:大鼠吸入LC:>20pph /2H
大鼠吸入80%(20%為O2)×4h,近似致死濃度。本品可引起快速窒息。接觸後引起頭痛、噁心和眩暈。可視為無毒氣體,但與可燃氣體一同燃燒時,分解產生有毒的氟化物。

安全信息

健康危害: 本品可引起快速窒息。接觸後引起頭痛、噁心和眩暈。
環境危害: 對環境危害較小,對水體和大氣可造成污染,對大氣臭氧層零損害,屬於ODS替代品。
燃爆危險: 本品不燃。

應急措施

急救措施

吸入: 迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

消防措施

危險特性: 若遇高熱,容器內壓增大,有開裂和爆炸的危險。
有害燃燒產物:氟化氫
滅火方法: 迅速切斷氣源,用水噴淋保護切斷氣源的人員,然後根據著火原因選擇適當滅火劑滅火。儘可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷卻,直至滅火結束。

泄漏處理

應急處理: 迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,並進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。儘可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,將漏氣的容器移至空曠處,注意通風。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗後再用。

操作處置與儲存

操作注意事項

密閉操作,全面通風。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈,防止鋼瓶碰撞、損壞。配備泄漏應急處理設備。

儲存注意事項

儲存於陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。應與氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

個體防護

工程控制: 生產過程密閉,全面通風。
呼吸系統防護: 空氣中濃度較高時,應視污染氣體濃度的高低和作業環境中是否缺氧來選擇過濾式防毒面具(半面罩)或空氣呼吸器。
眼睛防護: 必要時,戴化學安全防護眼鏡。
身體防護: 一般不需特殊防護。
手防護: 戴一般作業防護手套。
其他防護: 避免高濃度吸入。

廢棄處置

廢棄處置方法: 根據國家和地方有關法規的要求處置。或與廠商或製造商聯繫,確定處置方法。

運輸信息

危險貨物編號: 22034
UN編號: 2193
包裝類別: O53
包裝方法: 鋼質氣瓶。
運輸注意事項: 採用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,並應將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板,並用三角木墊卡牢,防止滾動。嚴禁與氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸,防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。

法規信息

化學危險物品安全管理條例 (1987年2月17日國務院發布),化學危險物品安全管理條例實施細則 (化勞發[1992] 677號),工作場所安全使用化學品規定 ([1996]勞部發423號)等法規,針對化學危險品的安全使用、生產、儲存、運輸、裝卸等方面均作了相應規定;常用危險化學品的分類及標誌 (GB 13690-92)將該物質劃為第2.2 類不燃氣體。

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