中頻交流脈衝磁控濺射電源

中頻交流脈衝磁控濺射電源的主要作用是用於製作兩種或兩種材料以上的金屬或反映膜層。電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整。

基本介紹

• 中文名：中頻交流脈衝磁控濺射電源
• 電源功率範圍：10--80KW
• 輸出方式：雙極性脈衝
• 輸出頻率：1-25KHZ

原理及其作用

　中頻交流脈衝磁控濺射電源工作於二級高頻變換模式，雙極性脈衝輸出，正反脈衝寬度互補調節，中頻建設電源以連個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，通過調整AB靶的比例脈寬來控制不同的濺射速率，從而控制兩種不同材質靶材的濺射比例，用於製作兩種或兩種材料以上的金屬或反映膜層。電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整。

技術說明

電源功率範圍	10--80KW
輸入電源	AC380V 三相四線制 50-60HZ ±10%
輸出方式	雙極性脈衝
脈衝寬度	10-901%互補調整
輸出頻率	1-25KHZ
輸出電壓	空載1000V[正向或反向峰值]
滅弧時間	≤3uS
輸出功率穩定性	1%
冷卻方式	2-10風冷 10-80KW水冷
使用環境	環境溫度 0-40℃; 環境濕度 相對濕度 ≤85%; 空氣清潔 無粉塵 霧腐蝕性易燃性氣體 通風良好
冷卻水	清潔 不含礦物質及其它可溶性物質; 水溫20-30℃; 壓力0.15±0.05Mpa