可用於物體表面三維形貌和變形測量。由於該系統既可配備10倍變焦遠距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統能同時滿足細觀及巨觀的測量要求。不僅可用於微電子、生物、微機械等微細結構的形貌及變形測量，也可用於混凝土結構、岩土試樣等大型構件表面形貌和變形測量。系統配有專用的相移條紋圖像處理軟體，使得系統測量精度明顯提高，並且使用方便、操作簡單。
名稱,參數,
名稱
三維形貌測量系統
參數
主要技術指標：
● 光源：150W光纖冷光源
● 有效測量範圍：
細觀：X、Y方向的有效測量範圍：0.5×0.7mm2～5×7mm2
X、Y方向的測量分辨力：0.5um～5.0um
深度（Z）方向測量範圍： 0.5um~300um(最大放大倍數)~5um~3mm( 最小放大倍數)
Z方向測量分辨力： 0.01um(最大放大倍數)～0.1um(最小放大倍數)
巨觀：X、Y方向的有效測量範圍：100×140mm2～ 1000×1400mm2
X、Y方向的測量分辨力：0.1mm～1.0mm
深度（Z）方向測量範圍：30mm~300mm
Z方向測量分辨力：0.01mm～0.1mm
● 解析度： 1/20光柵節距
● 顯示速率：25幀/s
● 細觀測量：採用10 倍手動變焦鏡頭
● 軟體：相移三維變形測量軟體
● 圖像解析度：1280×1024(細觀 2560×1920）
