基本介紹
- 書名：微米納米器件測試技術
- 作者：張文棟
- ISBN：9787118078978
- 頁數：259
- 定價：88.00元
- 出版社：國防工業出版社
- 出版時間：2012-10
編輯推薦,內容簡介,目錄,
編輯推薦
《微米納米器件測試技術》在總結國家“863”計畫項目和國家自然基金（重點基金）項目研究成果的基礎上彙編而成。
內容簡介
《微米納米器件測試技術》系統介紹了微米納米結構和器件的幾何量、形貌測試表征方法以及微米納米器件的動態特性、線上測試方法等，將一些最新觀點、最新成果涵蓋其中。《微米納米器件測試技術》可作為儀器科學與技術學科以及相關學科專業研究生的基礎課程講義，主要目的是使學生對微米納米器件測試技術的基本知識有一個比較系統、全面的了解和認識，培養他們對微米納米相關學科的興趣，為初學者提供一個微米納米器件測試理論學習的平台。
目錄
第1章微納測試技術概述
1.1微納米技術
1.1.1MEMS技術及其發展
1.1.2NEMS技術及其發展
1.2微納測試技術的研究
1.2.1微納測試技術的重要意義
1.2.2微納測試技術的研究內容
1.2.3微納測試技術的研究現狀與發展趨勢
第2章微納幾何量測試技術
2.1顯微視覺測試技術
2.1.1微納平面幾何參數測試
2.1.2微納結構的完整性檢測與分析
2.1.3微納平面動態特性的測量
2.2接觸式三維形貌測試技術
2.2.1掃描探針顯微鏡技術
2.2.2近場掃描光學顯微鏡技術
2.2.3掃描電子顯微鏡技術
2.2.4透射電子顯微鏡技術
2.3非接觸式光學三維形貌測試技術
2.3.1雷射掃描顯微測量技術
2.3.2白光干涉形貌測試技術
2.4微納坐標測量技術
2.4.1基本原理
2.4.2微納坐標測量儀器
2.5薄膜厚度測試技術
參考文獻
第3章微納動態測試技術
3.1頻閃動態視覺成像技術
3.1.1頻閃成像原理
3.1.2微納結構靜態和動態特性測試設備
3.1.3基於塊匹配和相位相關的微納平面運動測試技術
3.1.4基於光流場的微納平面運動測試技術
3.2頻閃顯微干涉測試技術
3.2.1頻閃干涉視覺三維測量系統測試原理
3.2.2系統光路
3.2.3系統軟體
3.3顯微雷射都卜勒測振技術
3.3.1差動都卜勒測振技術
3.3.2雷射扭振技術
3.3.3純扭振和純彎曲振動的雷射都卜勒測量
3.3.4雷射都卜勒顫振的測量
3.4原子力顯微鏡測試技術
3.4.1原子力顯微鏡的力學測試進展
3.4.2原子力顯微鏡微納米力學測試原理和方法
3.4.3原子力顯微鏡微納米力學測試系統及參考懸臂樑法的彈性係數標定
3.4.4懸臂樑彈性係數測試的系統驗證
3.4.5原子力顯微鏡在納米計量上的套用
參考文獻
第4章微納力學量測試技術
4.1微結構殘餘應力測試技術
4.1.1殘餘應力概念
4.1.2殘餘應力測量
4.2微結構軸向拉伸力學測試技術
4.2.1傳統拉伸方法力學測試技術
4.2.2轉換拉伸方法力學測試技術
4.2.3集成拉伸方法力學測試技術
4.2.4單軸拉伸位移的測量
4.3納米壓入接觸力學測試技術
4.3.1納米壓痕技術的基本原理
4.3.2納米壓痕測試的基本原則
4.3.3納米壓入技術的特點
4.4彎曲法微納力學測試技術
4.4.1彎曲梁法的分類及其原理
4.4.2基於彎曲測試技術的微/納米梁力學特性的表征方法
4.4.3彎曲法測試技術的優缺點
4.5諧振法微納力學測試技術
4.5.1諧振頻率法
4.5.2共振頻率法
4.6拉曼光譜應力測試系統
4.6.1拉曼散射現象
4.6.2拉曼光譜儀應力測試裝置
4.6.3拉曼應力測試理論研究
4.6.4拉曼光譜應力測試
4.6.5軟體系統的搭建
4.6.6實驗測試
4.7鍵合強度測試系統
4.7.1鍵合強度測試機理
4.7.2基於裂紋傳播擴散法的鍵合強度測試系統
參考文獻
第5章MEMS線上測試技術
5.1基於體矽加工工藝的線上測試技術
5.1.1體矽加工技術
5.1.2基於體矽工藝的定位平台
5.2基於表面微機械加工工藝的線上測試技術
5.2.1表面犧牲層工藝
5.2.2基於表面加工工藝的多晶矽薄膜熱導率測試結構
5.3基於Polymer材料加工的線上測試技術
5.3.1高分子（Polymer）材料概述
5.3.2新型光敏聚醯亞胺微型閥
參考文獻
第6章典型微納器件測試技術
6.1MEMS壓力感測器測試技術
6.1.1MEMS壓力感測器簡介
6.1.2MEMS壓力感測器的原理及結構
6.1.3MEMS壓力感測器的電氣性能測試
6.1.4MEMS壓力感測器的靜態測試
6.1.5MEMS壓力感測器的動態測試
6.1.6MEMS壓力感測器影響量測試
6.1.7MEMS壓力感測器的可靠性測試
6.2MEMS加速度感測器測試技術
6.2.1MEMS加速度感測器簡介
6.2.2中低量程MEMS加速度感測器的測試
6.2.3高量程加速度感測器的性能參數
6.3RFMEMS測試技術
6.4紅外與光學微納器件測試技術
6.4.1紅外與光學成像系統
6.4.2紅外光學成像測試
6.5NEMS器件測試技術
6.5.1納機電加速度感測器測試
6.5.2納機電聲感測器測試
參考文獻
1.1微納米技術
1.1.1MEMS技術及其發展
1.1.2NEMS技術及其發展
1.2微納測試技術的研究
1.2.1微納測試技術的重要意義
1.2.2微納測試技術的研究內容
1.2.3微納測試技術的研究現狀與發展趨勢
第2章微納幾何量測試技術
2.1顯微視覺測試技術
2.1.1微納平面幾何參數測試
2.1.2微納結構的完整性檢測與分析
2.1.3微納平面動態特性的測量
2.2接觸式三維形貌測試技術
2.2.1掃描探針顯微鏡技術
2.2.2近場掃描光學顯微鏡技術
2.2.3掃描電子顯微鏡技術
2.2.4透射電子顯微鏡技術
2.3非接觸式光學三維形貌測試技術
2.3.1雷射掃描顯微測量技術
2.3.2白光干涉形貌測試技術
2.4微納坐標測量技術
2.4.1基本原理
2.4.2微納坐標測量儀器
2.5薄膜厚度測試技術
參考文獻
第3章微納動態測試技術
3.1頻閃動態視覺成像技術
3.1.1頻閃成像原理
3.1.2微納結構靜態和動態特性測試設備
3.1.3基於塊匹配和相位相關的微納平面運動測試技術
3.1.4基於光流場的微納平面運動測試技術
3.2頻閃顯微干涉測試技術
3.2.1頻閃干涉視覺三維測量系統測試原理
3.2.2系統光路
3.2.3系統軟體
3.3顯微雷射都卜勒測振技術
3.3.1差動都卜勒測振技術
3.3.2雷射扭振技術
3.3.3純扭振和純彎曲振動的雷射都卜勒測量
3.3.4雷射都卜勒顫振的測量
3.4原子力顯微鏡測試技術
3.4.1原子力顯微鏡的力學測試進展
3.4.2原子力顯微鏡微納米力學測試原理和方法
3.4.3原子力顯微鏡微納米力學測試系統及參考懸臂樑法的彈性係數標定
3.4.4懸臂樑彈性係數測試的系統驗證
3.4.5原子力顯微鏡在納米計量上的套用
參考文獻
第4章微納力學量測試技術
4.1微結構殘餘應力測試技術
4.1.1殘餘應力概念
4.1.2殘餘應力測量
4.2微結構軸向拉伸力學測試技術
4.2.1傳統拉伸方法力學測試技術
4.2.2轉換拉伸方法力學測試技術
4.2.3集成拉伸方法力學測試技術
4.2.4單軸拉伸位移的測量
4.3納米壓入接觸力學測試技術
4.3.1納米壓痕技術的基本原理
4.3.2納米壓痕測試的基本原則
4.3.3納米壓入技術的特點
4.4彎曲法微納力學測試技術
4.4.1彎曲梁法的分類及其原理
4.4.2基於彎曲測試技術的微/納米梁力學特性的表征方法
4.4.3彎曲法測試技術的優缺點
4.5諧振法微納力學測試技術
4.5.1諧振頻率法
4.5.2共振頻率法
4.6拉曼光譜應力測試系統
4.6.1拉曼散射現象
4.6.2拉曼光譜儀應力測試裝置
4.6.3拉曼應力測試理論研究
4.6.4拉曼光譜應力測試
4.6.5軟體系統的搭建
4.6.6實驗測試
4.7鍵合強度測試系統
4.7.1鍵合強度測試機理
4.7.2基於裂紋傳播擴散法的鍵合強度測試系統
參考文獻
第5章MEMS線上測試技術
5.1基於體矽加工工藝的線上測試技術
5.1.1體矽加工技術
5.1.2基於體矽工藝的定位平台
5.2基於表面微機械加工工藝的線上測試技術
5.2.1表面犧牲層工藝
5.2.2基於表面加工工藝的多晶矽薄膜熱導率測試結構
5.3基於Polymer材料加工的線上測試技術
5.3.1高分子（Polymer）材料概述
5.3.2新型光敏聚醯亞胺微型閥
參考文獻
第6章典型微納器件測試技術
6.1MEMS壓力感測器測試技術
6.1.1MEMS壓力感測器簡介
6.1.2MEMS壓力感測器的原理及結構
6.1.3MEMS壓力感測器的電氣性能測試
6.1.4MEMS壓力感測器的靜態測試
6.1.5MEMS壓力感測器的動態測試
6.1.6MEMS壓力感測器影響量測試
6.1.7MEMS壓力感測器的可靠性測試
6.2MEMS加速度感測器測試技術
6.2.1MEMS加速度感測器簡介
6.2.2中低量程MEMS加速度感測器的測試
6.2.3高量程加速度感測器的性能參數
6.3RFMEMS測試技術
6.4紅外與光學微納器件測試技術
6.4.1紅外與光學成像系統
6.4.2紅外光學成像測試
6.5NEMS器件測試技術
6.5.1納機電加速度感測器測試
6.5.2納機電聲感測器測試
參考文獻
