SPC(固相結晶化)

SPC(Solid Phase Crystallization)為固相結晶化的英文首字母縮寫。
固相結晶化是指在LTPS TFT-LCD製作過程中,採用熱處理工藝將非晶矽( a-Si)層轉變為多晶矽(p-Si)層。目前,實用上的熱處理基本上是雷射熱處理。

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