MT-CVD

MT-CVD硬質徐層工藝技術，在20世紀80年代中期就已問世，但在當時並沒有引起人們的重視，直到20世紀90年代中期，世界上主要硬質合金工具生產公司，利用HT-CVD和MT-CVD技術相結合，研究開發出新型的超級硬質合金塗層材料，有效地解決了在高速、高效切削、合金鋼重切削、乾切削等機械加工領域中，刀具使用壽命低的難高強度題才引起廣泛的重視。目前，已在塗層硬質合金刀具行業投入生產套用，效果十分顯著。

MT-CVD技術沉積工藝如下。沉積溫度：700~ 900℃；沉積反應壓力：2X10³~2X10⁴Pa；主要反應氣體配比： CH₃CN：TiCl₄：H₂=0.01：0.02：1；沉積時間：1一4h。