氣相沉積套用技術

氣相沉積套用技術作者王福貞，馬文存，本書在第1篇中全面闡述了化學氣相沉積、物理氣相沉積、電漿增強化學氣相沉積的技術基礎、技術原理、新的沉積技術、工藝過程、設備配套、膜層質量檢測和分析。在第2篇中介紹了氣相沉積技術在工模具硬質塗層、防護塗層、光學薄膜、建築鍍膜玻璃、太陽能利用、積體電路製造、信息存儲、顯示器件、飾品裝飾、塑膠金屬化和柔性基材的卷繞薄膜產品等方面的套用。

基本介紹

• 書名：氣相沉積套用技術
• 作者：王福貞，馬文存
• ISBN：9787111200659
• 頁數：411
• 出版社：機械工業出版社
• 出版時間：2007年7月1日
• 裝幀：平裝

內容簡介

本書在第1篇中全面闡述了化學氣相沉積、物理氣相沉積、電漿增強化學氣相沉積的技術基礎、技術原理、新的沉積技術、工藝過程、設備配套、膜層質量檢測和分析。在第2篇中介紹了氣相沉積技術在工模具硬質塗層、防護塗層、光學薄膜、建築鍍膜玻璃、太陽能利用、積體電路製造、信息存儲、顯示器件、飾品裝飾、塑膠金屬化和柔性基材的卷繞薄膜產品等方面的套用。本書內容豐富新穎，力求緊密聯繫實際。

本書可供從事氣相沉積技術的工程技術人員、科技工作者、在校師生和工人閱讀，也可以作為相關專業的參考書。

作者簡介

王福貞，1960年畢業於北京科技大學(原北京鋼鐵學院)金相熱處理專業，現從北京聯合大學機械工程學院退休。教授，北京有突出貢獻專家，享受國務院津貼專家。

從1976年至今一直從事物理氣相沉積技術的工藝原理探討、沉積技術和設備研發。先後取得活性反應離子鍍膜機、空心陰極離子鍍膜機、矩形平面大弧源離子鍍膜機、柱形陰極電弧源、陰極電弧源離子滲金屬、離子滲氮等多項成果。

1989年與聞立時院士合著《表面沉積技術》。發表論文20餘篇。曾任中國真空學會薄膜委員會委員，機械工程學會耐磨、耐蝕委員會委員。

目錄

序1

序2

前言

氣相沉積技術基礎及各種氣相沉積技術

第1章 氣相沉積技術概述

1 氣相沉積技術分類

2 氣相沉積技術特點

3 氣相沉積技術套用

第2章 化學氣相沉積技術

1 緒言

2 化學氣相沉積物理化學基礎

2.1 CVD反應方式

2.2 CVD反應條件

2.3 CVD反應過程

3 化學氣相沉積熱力學分析

4 化學氣相沉積反應物質源

4.1氣態物質源

4.2液態物質源

4.3固態物質源

5 化學氣相沉積塗層質量影響因素

5.1沉積溫度

5.2沉積室壓力

5.3反應氣體分壓(配比)

6 化學氣相沉積裝置

6.1 CVD裝置基本構成

6.2負壓CVD裝置主要性能簡要說明

7 高溫化學氣相沉積技術

7.1 HT—CVDD硬質塗層種類和性能

7.2 HT—CVD工藝技術

8 中溫化學氣相沉積(MT—CVD)技術

8.1 MT—CVD反應機理

8.2 MT—CVD工藝過程及設備

8.3 MT—CVD沉積TiCN塗層組織結構及特性

8.4高性能塗層材料及其沉積工藝技術

8.5高性能塗層硬質合金刀具組織結構及特性

參考文獻

第3章 物理氣相沉積技術

1 物理氣相沉積技術概論

1.1物理氣相沉積分類

1.2物理氣相沉積的特點

2 物理氣相沉積技術基礎

2.1物理氣相沉積相關的真空物理基礎

2.2低溫電漿物理基礎

3 物理氣相沉積技術

3.1真空蒸發鍍

3.2離子鍍

3.3電子槍蒸發源二極型離子鍍

3.4熱陰極離子鍍

3.5射頻離子鍍

3.6集團離子束離子鍍

3.7活性反應離子鍍

3.8空心陰極離子鍍

3.9熱絲弧槍離子鍍

3.10電弧離子鍍

3.11磁控濺射鍍

3.12離子束及其在氣相沉積方面的套用

參考文獻

第4章 電漿增強化學氣相沉積技術

1 電漿增強化學氣相沉積技術機理

2 等離子氣體產生過程及性質

2.1多原子分子具有平動、旋轉和振動自由度

2.2分解

2.3電離

3 電漿化學反應過程

4 電漿增強化學氣相沉積裝置

5 電漿增強化學氣相沉積工藝過程及特點

5.1 PECVD 211藝過程

5.2 PECVDI藝特點

5.3採用直流脈衝PECVD技術是硬質塗層的主要發展方向

6 電漿增強化學氣相沉積塗層組織特徵

6.1電漿增強化學氣相沉積塗層類型

6.2電漿增強化學氣相沉積塗層組織特徵

參考文獻

第5章 氣相沉積設備

1 化學氣相沉積設備系統

1.1 CVD塗層設備系統主要技術指標

1.2 CVD塗層設備系統各部分功能及設計要求

1.3典型生產用CVD塗層設備

2 電漿增強低溫化學氣相沉積設備

2.1直流脈衝電源特性

2.2電漿增強化學氣相沉積設備

3 物理氣相沉積設備及配套系統

3.1真空室

3.2真空獲得與真空泵

3.3進氣系統

3.4真空測量

3.5氣相沉積技術中的電源

參考文獻

第6章 預處理主要輔助設備

1 清洗

2 刃口強化

2.1刃口強化作用

2.2刃口強化工藝及設備

3噴砂

參考文獻

第7章 膜層質量測試

1 膜層質量測試內容

2 性能檢驗

2.1膜層硬度測量

2.2膜層厚度測量

2.3膜層附著力測試

2.4膜層內應力測試

3 膜層的微區檢測

3.1顯微組織形貌分析

3.2膜層的晶體結構分析

3.3膜層成分分析

參考文獻

氣相沉積技術套用領域

第1章 氣相沉積技術在硬質塗層中的套用

1 硬質塗層製品在機械工業中的套用

1.1機械工業發展對塗層工具、模具性能的要求

1.2硬質塗層工具的作用

1.3塗層工模具所占市場份額

2 新型硬質塗層的發展趨勢

2.1新的金屬陶瓷硬質塗層

2.2多元複合塗層

2.3多層複合塗層

2.4納米複合塗層

2.5納米晶.非晶複合塗層

2.6非金屬超硬塗層

3 硬質塗層製品套用

3.1硬質塗層切削工具的套用

3.2硬質塗層模具及耐磨損、耐腐蝕零件套用

4 不同硬質塗層的實用沉積工藝技術

4.1硬質合金刀具典型CVD實用工藝技術

4.2高速鋼刀具PVD實用工藝技術

4.3模具PECVD實用工藝技術

5 非金屬超硬塗層沉積技術

5.1金剛石塗層的沉積技術及套用

5.2立方氮化硼塗層的沉積技術及套用

5.3氮化碳塗層氣相沉積技術及套用

5.4納米級塗層和納米超硬多層

複合塗層沉積技術及套用

參考文獻

第2章 氣相沉積技術在防護塗層方面的套用

1 防護塗層的作用

1.1防護塗層性能

1.2獲得防護塗層的方法

1.3用氣相沉積技術獲得防護塗層的獨特性

2 耐腐蝕塗層

2.1防腐塗層的種類

2.2氣相沉積技術耐腐蝕層的套用領域

2.3防腐蝕層的氣相沉積技術

3 熱障塗層

3.1熱障塗層的組成

3.2熱障塗層的氣相沉積技術

參考文獻

第3章 氣相沉積技術在光學薄膜領域中的套用

1 光學薄膜的套用領域

1.1光學薄膜的套用範圍

1.2光學薄膜的功能

2 光學薄膜特性

2.1在不同媒質界面上光的反射

2.2減反膜(增透膜)

2.3反射膜

2.4截止濾光片

2.5選擇吸收膜

3 光學薄膜的氣相沉積技術

3.1減反膜(增透膜)的沉積工藝

3.2反射膜的沉積工藝

3.3選擇吸收膜的沉積工藝

4 光學防偽薄膜

4.1防偽技術的現狀與薄膜防偽技術的發展

4.2防偽膜的基本理論

4.3整膜防偽膜的設計與工藝舉例

4.4碎膜防偽技術要點

參考文獻

第4章 氣相沉積技術在建築鍍膜玻璃方面的套用

1 建築鍍膜玻璃的功能

2 普通玻璃的光學性能

3 鍍膜玻璃的遮陽隔熱原理

3.1陽光控制膜

3.2低輻射率膜

3.3陽光控制膜和低輻射率膜的材料

4 智慧型窗玻璃

4.1智慧型窗玻璃的套用

4.2智慧型窗玻璃的種類

4.3各種智慧型薄膜變色的機制

4.4.智慧型窗玻璃薄膜的沉積工藝

5 防霧防露和自清潔玻璃.

5.1防霧防露和自清潔玻璃的功能

5.2光催化機理

5.3防霧防露和自清沽玻璃的沉積工藝

參考文獻

第5章 氣相沉積技術在太陽能利用領域的套用.

1 太陽能——取之不盡的能源

2 太陽能光一熱轉換

2.1太陽光譜選擇性吸收

2.2太陽能的光.熱轉換能效薄膜

2.3太陽能集熱器

2.4太陽光譜選擇吸收薄膜的沉積技術

2.5太陽能熱水器合成

3氣相沉積技術在太陽能光.伏轉換領域中的套用

3.1太陽能光.電轉換

3.2太陽能光一電轉換薄膜

3.3太陽能光一電轉換薄膜的沉積技術

4太陽能電池的套用實例

參考文獻

第6章氣相沉積技術在積體電路製造中的套用

1 積體電路高集成化發展方向

1.1積體電路在高新技術中的套用

1.2積體電路的高集成化

2 積體電路類型

2.1積體電路

2.2分立器件電路

3 積體電路組成

3.1有源器件——包括電晶體的器件

3.2無源元件

4 積體電路加工工藝

4.1氧化工藝

4.2刻蝕.光刻工藝

4.3摻雜.離子注入

4.4互連布線的沉積和刻蝕

5分立器件電路的加工

5.1薄膜電阻器

5.2薄膜電容器

5.3薄膜網路器件

5.4薄膜溫度感測器

5.5薄膜氣敏感測器

5.6高溫超導薄膜

5.7發光器件

參考文獻

第7章 氣相沉積技術在信息顯示器件中的套用

1 信息顯示器件的套用

2 信息顯示器件的種類

2.1陰極射線管(CRT)

2.2平板顯示器

3 平板顯示器件用薄膜

3.1各種平板顯示器的工作原理及相關薄膜

3.2平板顯示器薄膜的氣相沉積技術

參考文獻

第8章 氣相沉積技術在信息存儲領域的套用

1 信息存儲技術的進展

2 信息存儲的類型與存儲薄膜

2.1磁信息存儲

2.2磁光信息存儲

2.3全光信息存儲

3 超高密度信息存儲材料

3.1科學技術發展進入了納米電子器件新時代

3.2超高密度信息存儲材料

4 納米區內電荷存儲技術

參考文獻

第9章 氣相沉積技術在裝飾飾品上的套用

1 裝飾品給人們五彩繽紛的生活

1.1裝飾件底材

1.2裝飾薄膜種類

2 金屬基材裝飾膜的沉積

2.1金屬基材裝飾品的套用領域

2.2金屬基材製件對裝飾膜層的要求

2.3金屬件裝飾膜的沉積工藝

3 塑膠件裝飾膜的沉積

3.1塑膠鍍膜的套用領域

3.2塑膠製品對裝飾膜層的要求

3.3塑膠製品裝飾膜的真空鍍膜工藝

3.4塑膠鍍膜中的底漆、面漆

4 真空卷繞鍍膜技術

4.1真空卷繞鍍膜技術套用領域

4.2真空卷繞鍍膜技術的設備分類

4.3真空卷繞鍍膜設備的結構特徵

4.4真空蒸髮捲繞鍍膜設備的組成

4.5真空磁控濺射卷線鍍膜設備結構

4.6泡沫塑膠鍍鎳

參考文獻

編輯推薦

本書是一部關於氣相沉積技術的實用專著，全書分氣相沉積技術基礎及各種氣相沉積技術和氣相沉積技術套用領域兩大部分詳細介紹了相關內容，本書適合從事氣相沉積技術的工程技術人員、科技工作者及高校相關專業學生學習。