CuKα射線的產生過程是：通過高能電子流轟擊銅靶，產生多個特徵波長的螢光X射線，其中主要成分是波長為1.5418Å的射線，稱為Kα射線 。
K系射線中，Kα射線相當於電子由L層躍遷到K層產生的射線，在特徵X射線中K系射線強度遠遠高於L、M等線系，而K系中Kα1、Kα2、Kβ1的強度比一般為100:50:22。Kα1與Kα2非常接近，二者很難分離，所謂的Kα實際是二者的統稱，而Kβ1則通常稱為Kβ。
Cu的特徵譜線波長為：Kα1 1.54056Å，Kα2 1.54439Å，Kβ1 1.39222Å，...。
對於Cu靶，Kα波長取Kα1與Kα2的加權平均值為1.54184Å。
Cu的特徵譜線波長為：Kα1 1.54056Å，Kα2 1.54439Å，Kβ1 1.39222Å，...。
對於Cu靶，Kα波長取Kα1與Kα2的加權平均值為1.54184Å。
X射線是否進行過單色化處理很容易判斷。工作時無論採用何種靶材，基本上都首選Kα線。對Kα進行嚴格的單色化處理一般是去除Kα2而保留Kα1。如果Kα1、Kα2雙線共存，衍射譜會出現所謂的”峰分裂“假象，即衍射峰隨衍射角增大逐漸分裂成兩個相對強度約為2:1的衍射峰；而如果是單波長Kα1衍射，不會出現這種現象。原因很簡單，從Bragg公式2dsinθ=λ就可以看出波長對角度的影響了：波長一定時，衍射晶面間距越小則角度越大。對於Cu靶，100nm以上的結晶物從2θ=40度開始即可分辨出分別對應Kα1、Kα2的衍射峰，但50nm以下的結晶物則因衍射峰寬化難以分辨。
將X射線（如Cu的Kα輻射）射到一粒單晶體上會發生衍射，由對衍射線的分析可以解析出原子在晶體中的排列規律，也即解出晶體的結構。
