《離子束材料改性科學和套用》是1999年科學出版社出版的圖書，作者是張通和、吳瑜光。
基本介紹
- 中文名：離子束材料改性科學和套用
- 作者：張通和、吳瑜光
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：1999年2月
- ISBN：7030067584
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書介紹了新的離子束技術發展和在微電子學、材料科學、凝聚態物理和核物理等交叉學科發展中的主要作用和地位。分析了離子注入和離子束材料改性的基本理論、最常用的計算公式和圖表。給出了最新研究成果及其工業上的套用概況，並對離子束技術未來的發展進行了分析和展望。本書可供從事材料表面改性、表面最佳化處理、精密機械製造、化工、軍事裝備和醫療器械製造方面的科研人員參考和閱讀。也可供大專院校相關專業的師生參考
圖書目錄
目錄
第一章 先進的離子束加工技術
第二章 離子注入和離子束加工中相關的物理問題
第三章 大規模積體電路（VLSI）離子注入淺結和快速退火
第四章 矽和GaAs積體電路中離子束微細加工技術
第五章 高能離子注入
第六章 離子注入合成矽化物
第七章 離子束表面摩擦磨損工程
第八章 離子注入熱原子化學效應、表面抗腐蝕和抗氧化特性
第九章 離子注入在醫療上的研究和套用
第十章 離子注入陶瓷表面改性
第十一章 離子注入高分子聚合物
