金剛石多晶薄膜

金剛石多晶薄膜是用低壓或常壓化學氣相沉積方法在固相基片上沉積形成的大面積薄膜狀金剛石。通常為多晶結構。

中文名稱金剛石多晶薄膜
英文名稱polycrystalline diamond film
定  義用低壓或常壓化學氣相沉積方法在固相基片上沉積形成的大面積薄膜狀金剛石。通常為多晶結構。
套用學科材料科學技術(一級學科),無機非金屬材料(二級學科),晶體材料(三級學科)
  • 套用學科
  • 材料科學技術(一級學科),無機非金屬材料(二級學科),晶體材料(三級學科)

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