藍寶石研磨液

藍寶石研磨液（又稱為藍寶石拋光液）是用於在藍寶石襯底的研磨和減薄的研磨液。藍寶石研磨液由優質聚晶金剛石微粉、複合分散劑和分散介質組成。

基本介紹

• 中文名：藍寶石研磨液
• 又稱：藍寶石拋光液
• 用於：藍寶石襯底研磨和減薄的研磨液
• 組成：金剛石微粉、複合分散劑

藍寶石研磨液利用聚晶金剛石的特性，在研磨拋光過程中保持高切削效率的同時不易對工件產生劃傷。可以套用在藍寶石襯底的研磨和減薄、光學晶體、硬質玻璃和晶體、超硬陶瓷和合金、磁頭、硬碟、晶片等領域的研磨和拋光。

藍寶石研磨液在藍寶石襯底方面的套用：

1. 外延片生產前襯底的雙面研磨：多用藍寶石研磨液研磨一道或多道，根據最終藍寶石襯底研磨要求用6um、3um、1um不等。

2. LED晶片背面減薄

為解決藍寶石的散熱問題，需要將藍寶石襯底的厚度減薄，從450nm左右減至100nm左右。主要有兩步：先在橫向減薄機上，用50-70um的砂輪研磨磨去300um左右的厚度；再用拋光機（秀和、NTS、WEC等）針對不同的研磨盤（錫/銅盤），採用合適的藍寶石研磨液（水/油性）對晶片背面拋光，從150nm減至100nm左右。