藍寶石拋光液是以高純度矽粉為原料，經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品。
基本介紹
- 中文名：藍寶石拋光液
- 原料：高純度矽粉
- 屬於：高純度低金屬離子型拋光產品
- 用於：藍寶石襯底的拋光
藍寶石拋光液主要用於藍寶石襯底的拋光。還可廣泛用於多種材料納米級的高平坦化拋光，如：矽片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。
藍寶石拋光液的特點：
1.高拋光速率，利用大粒徑的膠體二氧化矽粒子達到高速拋光的目的。
2.高純度（Cu含量小於50 ppb），有效減小對電子類產品的沾污。
3.高平坦度加工，藍寶石拋光液是利用SiO2的膠體粒子進行拋光，不會對加工件造成物理損傷，達到高平坦化加工。
藍寶石拋光液根據pH值的不同可分為酸性拋光液和鹼性拋光液。
藍寶石拋光液的型號：
鹼性型號（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D
酸性型號（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D
粒徑(nm)： 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130
外觀： 乳白色或半透明液體
比重 1.15±0.05
組成 SiO2：15~30%
Na2O：≤0.3%
重金屬雜質 ：≤50 ppb
