能量色散譜儀

能量色散譜儀energy dispersive spectxrmleter; EDS是x射線能譜分析的一種儀器。

工作原理

能量色散譜儀energy dispersive spectxrmleter; EI)S是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質相互作用時，採用能聚焦的入射電子可以激發初級x射線，不同元素髮射出來的特徵x射線波長不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x}J線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設備通常稱為能量色散譜儀。主要單元是半導體探測器及多道脈衝高度分析器，用以將特徵x射線按能量展i}} Er7,5的解析度遠不如波長色散譜儀，它有分析速度快的優點，和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍，如果進行物相鑑定，只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。