羅鋒(南開大學講席教授)

羅鋒(南開大學講席教授)

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羅鋒,南開大學教授,博士。2010年12月加入馬德里高等研究院納米研究所,2013年12月提前獲得研究教授(終身教職副教授),2016年6月晉升為資深研究教授(終身教職正教授),2021年1月全職加入南開大學材料科學與工程學院任講席教授,並在南開大學電子信息與光學工程學院兼任教授,博導。

基本介紹

教育背景,工作經歷,研究領域,關注方向,科研項目,學術成就,

教育背景

  • 2004.10-2006.10,德國馬克思-普朗克微結構與物理研究所,博士後
  • 2006.10-2009.11,瑞士保羅謝爾研究所微納技術實驗室,博士後
  • 1999.09-2004.06,北京大學化學與分子工程學院,材料化學博士

工作經歷

研究領域

  1. 模擬IC設計(電源晶片)、工藝與器件集成的可靠性以及失效分析。
  2. 極紫外光刻的光刻膠合成與評估,鏡面拋光,掩模製作與缺陷檢測。
  3. 面向自旋電子學/量子感測的晶圓級器件的製造工藝、器件集成、微納加工/超精密製造裝備。

關注方向

  1. 低功耗高端電源管理晶片/車規級/宇航級超低靜態電流高端智慧型電源管理晶片。
  2. 極紫外光刻技術光刻膠合成製造與刻蝕評估。
  3. 超低功耗自旋晶片/自旋電子學的新材料/器件。
  4. 8/12英寸納米壓印光刻關鍵的光刻膠材料、套刻壓印工藝技術與專屬化裝備。

科研項目

  • 科技部重點研發專項"面向Sub-7nm 先進工藝節點積體電路核心器件的同步輻射表征技術及套用",2022-2026,課題負責人
  • 科技部重點研發專項"生物納米孔基因測序儀",2022-2024,課題參與
  • 基金委重大項目"非常規激發染料的構效調控及產品工程科學基礎",2021-2024,EUV光刻膠課題參與
  • 橫向課題,2023-2023,課題負責人

學術成就

  • 在微納加工技術/超精密製造裝備與超高密度磁存儲關鍵工藝取得一些有代表性的工作。
  • 發表多篇學術論文,包括在Small, ACS Applied Nano Materials, Laser Photonics & Reviews, Appl. Phys. Lett., ACS Nano, Nature Communications等期刊上的文章。

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