缺陷檢查

作為專業術語，是通過利用能量束照射待檢查的襯底，獲得從待檢查的襯底反射的能量束作為數字圖像信號。

基本介紹

• 中文名：缺陷檢查
• 外文名：Defect inspection
• 所屬類別：數字圖像信號專業術語

簡介

當獲得的數字圖像信號的強度超過閾值時，將該數字圖像信號探測為缺陷。基於包括在數字圖像信號中的噪聲信號的最大強度，設定該閾值。

裝置原理

其可相應於圖案的密度自動地設定具有相應於缺陷部分的尺寸的缺陷檢測靈敏度的尺寸判定區域，進行缺陷檢查。

該缺陷檢查方法包含：

其基於參照圖像數據，於複數個方向計測圖案的寬度，並將上述參照圖像數據變換為相應於上述圖案於上述各方向的寬度的亮度，製作對應於上述各方向的複數個掃描圖像數據；其比較上述複數個掃描圖像數據，並自該等掃描圖像數據選出最小的亮度的最小亮度，製作寬度圖像數據；

其基於被檢查圖像數據與上述參照圖像數據抽出缺陷部分，並將於上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測定的尺寸變換為亮度，製作缺陷尺寸圖像數據；

以及，其基於上述缺陷尺寸圖像數據與上述寬度圖像數據，進行對於上述缺陷部分的缺陷判定。

檢查步驟

一種缺陷檢查方法，其為攝像描繪有圖案的被檢查體，基於所取得的被檢查圖像數據與參照圖像數據進行上述被檢查體的缺陷檢查，其特徵在於包含：

第1步驟，其基於上述參照圖像數據，於複數個方向計測上述圖案的寬度，並將上述參照圖像數據變換為相應於上述圖案於上述各方向的寬度的亮度，製作對應於上述各方向的複數個掃描圖像數據；

第2步驟，其比較上述複數個掃描圖像數據，並自該等掃描圖像數據選出最小的亮度的最小亮度，製作寬度圖像數據；

第3步驟，其基於上述被檢查圖像數據與上述參照圖像數據抽出缺陷部分，並將於上述圖案的寬度成為最小亮度的方向測定上述缺陷部分的尺寸變換為亮度，製作缺陷尺寸圖像數據；

第4步驟，其基於上述缺陷尺寸圖像數據與上述寬度圖像數據，進行對於上述缺陷部分的缺陷判定。

關於專利發明

缺陷檢查方法以及利用該方法的缺陷檢查裝置，通過一次拍攝就能夠檢測出成形體表面的凹凸缺陷以及色彩缺陷。

原理

對於檢查對象的工件表面，同時驅動同軸反射照明用的照明部和斜入射照明用的照明部，並在該照明下用照相機進行拍攝。在照明部中分別設定有發出各色彩光的光源，並且，在照明部僅點亮這些三種光源中的一種，而在照明部點亮在照明部沒有點亮的一種或兩種光源。

結構

發明的缺陷檢查數據處理系統具有：客戶計算機，其中具有用於取得在製造工序中作為處理對像的被檢查物體的二維圖像的圖像取得裝置、以及把用該圖像取得裝置取得的圖像作為數據進行傳輸的數據傳輸裝置；資料庫，用於記錄從該客戶計算機傳送來的圖像數據；以及主計算機，其中具有用於對從該資料庫中讀出的上述圖像數據進行缺陷信息抽取的缺陷抽取裝置、以及用於根據由該缺陷抽取裝置抽取的缺陷信息來判斷上述被檢查物體是否合格的合格與否判斷裝置，對上述客戶計算機和主計算機分開進行構成，通過通信線路使其相連線。