納米結構微機械生化感測器

納米結構微機械生化感測器。該微機械生化感測器是在SOI矽片下層矽上的SOI矽基體機構。

納米結構微機械生化感測器。該微機械生化感測器是在SOI矽片下層矽上的SOI矽基體製作微懸臂樑結構，在微懸臂樑結構上覆蓋二氧化矽絕緣層，其上層為單晶矽製備的加熱電阻，納米材料覆蓋在加熱電阻上，納米材料加熱裝置通過引線和加熱電阻連線；包括雷射發生器和位置敏感探測器的感測器輸出信號檢測裝置固定在微懸臂樑結構上方。本發明採用微加工製備微機械結構和檢測感測器，絕緣絕熱性能好，製作工藝簡單，具有較高的檢測靈敏度；納米材料作為吸附爆炸物氣體的材料，具有吸附性能好、選擇性強的突出優點，有助於提高對爆炸物氣體檢測的靈敏度、縮短測量時間和提高測量準確性。