界面散射

界面散射是指半導體載流子沿表面運動的表面遷移率總低於體內遷移率，這種由於沿表面層運動的載流子受到的不同於體內的附加散射，就稱之為表面散射或例如表界面散射。

基本介紹

• 中文名：界面散射
• 外文名：interface scattering
• 別名：表面散射或界面散射
• 散射機制：表面粗糙度散射

散射機制

界面散射機制比較複雜。例如是由於表面粗糙不平整引起的散射過程，這時表面不是一個平面而是像一個被彎曲了的薄片，因此當電子沿表面運動時將受到干擾，使遷移率降低。這種散射作用對薄的表面空間電荷層較明顯，例如強反型層就屬於這種情況。