熱解氮化硼

氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基體材料上，達到一定厚度後，最終冷卻脫模而製成。

基本介紹

• 中文名：熱解氮化硼
• 外文名：PBN
• 類型：特種陶瓷材料
• 沉積過程：宛如“落雪”

主要特點

材料呈白色，無毒、無孔隙、易加工。

純度高達99.99%，表面緻密，氣密性好。

耐高溫，強度隨溫度升高，2200℃達到最大值。

耐酸、鹼、鹽及有機試劑，高溫與絕大多數熔融金屬、半導體等材料不浸潤、不反應。

抗熱震性好，熱導性好，熱膨脹係數低。

電阻高，介電強度高，介電常數小，磁損耗角正切低，並具有良好的透微波和紅外線性能。

在力學、熱學、電學等等性能上有著明顯的各向異性。

具體套用

半導體單晶及III－V族化合物合成用的坩堝、基座：

原位合成GaAs、InP、GaP單晶的LEC系列坩堝。

分子束外延用的MBE系列坩堝。

VGF、VB法系列坩堝。

PBN/PG複合加熱器塗層。

石墨加熱器絕緣塗層。

高溫絕緣流體噴嘴。

MOCVD絕緣板。

異形坩堝及異形石墨件塗層。

晶片退火工藝用複合加熱器。

基本參數

■規格：
類 型	類 別	最 大 尺 寸
坩堝類	LEC	8 inch
	VGF	8 inch
	MBE	8 inch
	異形坩堝
板材類	圓形板材	8 inch
	長舟	8 inch
	絕緣板(MOCVD)	8 inch
塗層類	蒸發舟
	石墨加熱器
	PBN/PG複合加熱器

■主要參數:
性能	單位	數值
晶格常數	µm	a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
表觀密度	g/cm3	2.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩鍋)
氦透過率	cm3/s	1×10－10
顯微硬度(Knoop)(ab平面)	N/mm2	691.88
體積電阻係數	Ω·cm	3.11×1011
抗張強度 (力|| “C”)	N/mm2	153.86
抗彎強度	(力|| “C”)	N/mm2	243.63
	(力⊥ “C”)	N/mm2	197.76
彈性模量		N/mm2	235690
熱傳導率		W/m·k	“a”方向 “c”方向
	(200℃)	W/m·k	60 2.60
	(900℃)	W/m·k	43.70 2.80
介電強度(室溫)	KV/mm	56