濺射離子泵

濺射離子泵是一種基於離子濺射原理實現真空維持的設備，屬於機械工程領域的基礎技術裝置。該設備廣泛套用於粒子加速器、真空電子元件等場景，其性能指標如極限真空度可達到≤5.0×10Pa。在標準規範方面，中國已發布多項國家標準（如GB/T 25755-2010）和行業標準（如JB/T 4081-2011），明確其設計參數與測量方法。此外，該設備不可用於人類或動物的臨床診療，相關研究涵蓋放電行為、抽氣過程理論及新型結構設計等領域。

基本介紹

• 英文名：sputter ion pump 
• 公布時間：2013年 
• 產品型號：2L-25型 
• 適用標準：JB/T 4081-2011 
• 套用領域：工業、科研 
• 供應商數量：全球2家，分別為上海華翰貿易有限公司和如東通園化工有限公司 

名稱與定義

濺射離子泵（英文：sputter ion pump），在英美地區亦被稱為“離子濺射泵”或“sputtering-ion pump”，其定義於2013年被正式收錄為機械工程名詞。

標準規範

中國針對濺射離子泵制定了兩項核心標準：

1. GB/T 25755-2010：發布於2010年12月23日，規定名義體積流率＞10 L/s的離子泵性能測量方法。
2. SJ 1781-1981：電子行業標準，1981年8月1日實施，詳細說明試驗方法。
3. JB/T 4081-2011：替代舊版標準，規範普通型產品的參數、檢驗規則等。

產品與性能

2L-25型濺射離子泵是典型工業型號，不可用於人類或動物的臨床診斷或治療，其生產工藝涉及化學原料與安全資質要求。性能測試顯示，上海光源項目中使用的該設備極限真空度滿足≤5.0×10-8Pa的指標要求。

研究進展

近年研究聚焦於三大方向：

1. 濺射離子泵在微型真空電子元件中的套用及新結構設計；
2. 潘寧放電及帶電粒子行為分析；
3. 抽氣過程理論模型的最佳化。

供應鏈信息

截至2025年，全球公開供應商包括上海華翰貿易有限公司與如東通園化工有限公司，但採購需符合危險品資質法規。