淺溝道隔離（Shallow Trench Isolation）是一種常用在傳統CMOS矽工藝中隔離器件的工藝技術。 基本介紹 中文名：淺溝道隔離外文名：Shallow Trench Isolation別名：STI相關：LOCOS 淺溝道隔離（Shallow Trench Isolation）是一種常用在傳統CMOS矽工藝中隔離器件的工藝技術，另一種為LOCOS。
