氮化鉭電阻薄膜

基本介紹

  • 中文名:氮化鉭電阻薄膜
  • 外文名:tantalum nitride resistance film
  • 解釋:一種基中低阻薄膜
  • 主成分氮化鉭
。。具有熔點高(3090℃)、電阻溫度係數小和穩定性高的特點。電阻率180~220μΩ/cm,方阻50~100Ω,TCR<-50×10-6/℃。採用濺射法工藝製備。用於製作中低阻薄膜元件。

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