氣體放電真空計

氣體放電真空計

真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低於大氣壓力的氣體稀薄程度。真空測量包括全壓力測量、分壓力測量和真空計校準三個部分。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度，一般僅能作為定性測量。屬於根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化這類的真空計。

基本介紹

• 中文名：氣體放電真空計
• 真空測量：真空度的測量
• 真空度：低於大氣壓力的氣體稀薄程度
• 工作原理：利用真空中的放電現象，

工作原理

Penning真空計是利用真空中的放電現象，測量中高真空領域的溫度計，測量性穩定，耐用性久為其特點。

Penning真空計構造原理

Penning真空計利用Penning放電現象。一般而言，冷陰極放出的電子比熱陰極少。單純在陰陽兩極間加電壓，如果壓力低於0.1Pa則不會持續放電。為了增加電子飛行距離，從外部加磁場，這樣可使在更低的壓力下也可放電。

特徵用途

Penning真空計測量性能穩定，可測量高真空領域的電流。因為是冷陰極方式，不必擔心電極的燒損問題。缺點是放電穩定性有一定不足。另外從陰極放出的電子量受表面污染影響嚴重。

根據以上特點，此真空計適合不想頻繁更換真空計的高真空領域設備上，同時因為此真空計本身有較強的磁場，要考慮其安裝在設備上的位置。

讓真空中的殘留氣體電離，通過測量電離生成的離子或電子的電流而得出氣體的壓力，這種真空計被稱為電離真空計。電離真空計讓有幾十eV的電子碰撞氣體分子使其電離。電子的產生方式有兩種：一種是加熱金屬絲放出熱電子(熱陰極)，另一種方式是利用電漿(冷陰極)。Penning真空計是冷陰極電離真空計的一種。