電離真空計是基於在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關係的原理製作的真空測量儀器。
由筒狀收集極,柵網和位於柵網中心的燈絲構成,筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
基本介紹
- 中文名:電離真空計
- 外文名:Ionization Gauge
- 用途:測量高真空度
電離真空計是基於在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關係的原理製作的真空測量儀器。
由筒狀收集極,柵網和位於柵網中心的燈絲構成,筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
電離真空計是基於在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關係的原理製作的真空測量儀器。由筒狀收集極,柵網和位於柵網中心的燈絲構成,筒狀收集...
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