機械應力缺陷

中文名稱	機械應力缺陷
英文名稱	mechanical stress defect
定　　義	晶片加工時，在其表面引入的機械應力缺陷。經腐蝕後可顯現出該種缺陷的痕跡。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）