特性指用於金屬有機化合物氣相沉積(MOCVI})具有很高揮發性、高純度的有機鍺化合物。可燃性液體。主要包括四甲基鍺[ (CH3).}C}e] ,四乙基鍺[(CZHS)aGe]等化合物。利川格利雅反應製備。採用精密精餾、減壓精溜法提純。王要用作C aA。和其他111一V族半導體的n型摻雜源,也被用來澱積鍺或製備鍺化合物。