核心技術原理
晶棧(Xtacking)是長江存儲(YMTC)自主研發的創新型3D NAND快閃記憶體架構技術。其核心原理是將存儲單元(Memory Cell Array)與外圍電路(CMOS)分別在兩片獨立的晶圓上加工,然後通過晶圓鍵合(Wafer Bonding)技術連線成一個整體。具體而言,該技術首先在一片晶圓上獨立加工負責數據I/O及存儲單元操作的外圍電路,這樣的加工方式有利於選擇合適的先進邏輯工藝。存儲單元則在另一片晶圓上被獨立加工。當兩片晶圓各自完工後,通過創新的晶棧(Xtacking)技術,只需一個處理步驟就可通過數百萬至數十億根垂直互聯通道(VIA,Vertical Interconnect Access)將二者鍵合併接通電路。此項鍵合技術屬於混合鍵合(Hybrid Bonding)範疇,要求將兩片晶圓以亞微米級精度永久鍵合,其誤差需小於一根頭髮絲的百分之一,界面潔淨度需達到原子級。
這種“兩片晶圓獨立加工再鍵合”的架構,相較於傳統3D NAND架構,帶來了多重優勢。性能提升方面,外圍電路可採用更先進的邏輯工藝,從而使NAND獲得更高的I/O接口速度及更多的操作功能,I/O接口速度得以大幅提升。存儲密度提升方面,在傳統3D NAND架構中,外圍電路約占晶片面積20~30%,晶棧(Xtacking)技術通過將外圍電路置於存儲單元之上,最佳化了晶片面積利用率,可實現更高的存儲密度,晶片面積可減少約25%。研發與生產周期縮短方面,存儲單元和外圍電路能夠獨立並行加工,實現了模組化的產品設計與製造,可顯著縮短產品開發周期和生產周期。
在晶棧(Xtacking)架構推出前,市場上的3D NAND主要分為傳統的並列式(Side-by-Side)結構和CMOS under Array (CuA) 架構。晶棧(Xtacking)架構通過其獨特的晶圓級鍵合方式,突破了這些傳統架構的限制,為3D NAND技術的發展提供了新的路徑。
發展歷程
2018年8月,長江存儲在全球快閃記憶體峰會(Flash Memory Summit, FMS)上首次發布其革新的Xtacking®架構,並一舉斬獲大會最高榮譽“Best of Show”獎項。2019年9月,搭載長江存儲自主創新Xtacking®架構的第二代64層TLC 3D NAND快閃記憶體正式量產。該技術持續疊代,已從Xtacking 1.0發展至Xtacking 4.0(亦稱晶棧4.0)。2022年,長江存儲晶棧®Xtacking®3.0架構在快閃記憶體峰會(FMS 2022)上榮獲“最具創新存儲技術獎”。基於該架構的
X3-9070等快閃記憶體產品也隨之發布。2024年底至2025年,基於新一代晶棧®Xtacking®4.0架構的快閃記憶體產品(如X4-9070、X4-6080)及終端SSD(如
致態TiPro9000)陸續推出。2025年8月,晶棧®Xtacking®4.0創新架構在2025年未來記憶體與存儲峰會(FMS)中再次榮獲3D NAND“最具創新存儲技術獎”。2025年,
三星與長江存儲達成3D NAND混合鍵合技術專利許可協定,標誌著Xtacking技術獲得國際行業領先企業的認可。
技術特點
晶棧Xtacking架構的獨立CMOS晶圓可採用更先進的邏輯工藝,從而實現更高的I/O接口速度,如從800MT/s提升至3600MT/s,符合併超越ONFI標準。該技術將外圍電路置於存儲單元之上,節省了晶片面積,相比傳統架構可減少約25%,在同等晶片尺寸下實現更高的比特密度,如1Tb/2Tb容量。
存儲單元與外圍電路可並行、模組化加工,縮短了產品開發周期約3個月和生產周期約20%。其工藝和驗證體系涉及鍵合後的可靠性及良率。
其設計如6平面設計有助於降低功耗,提升能效比。模組化設計為引入NAND外圍電路的創新功能、實現定製化快閃記憶體解決方案提供了可能。
所獲榮譽與行業影響
自2018年發布以來,晶棧Xtacking架構及其疊代產品在國際行業峰會上獲得多項獎項。2018年,該架構在快閃記憶體峰會(FMS)上獲得“Best of Show”獎。2022年,Xtacking 3.0架構在FMS上獲得“最具創新存儲技術獎”(異構存儲集成類別)。2024年,基於Xtacking 3.0架構的X3-6070 QLC 3D NAND在中國快閃記憶體市場峰會(CFMS)上獲得“年度技術突破獎”。2025年,Xtacking 4.0架構在FMS上獲得“最具創新存儲技術獎”。
FMS評獎委員會主席Jay Kramer評價該技術為“超連結架構(SCT)”的創新代表,認為其有助於
3D NAND最佳化性能和密度,套用於企業級和消費級存儲。
2025年,三星電子獲得了長江存儲混合鍵合技術的專利授權,用於其第10代V-NAND產品。這一技術授權案例顯示,Xtacking架構的相關技術已進入國際主流存儲製造商的供應鏈。
晶棧Xtacking架構的研發被視為中國半導體存儲產業自主創新的一個代表性案例。該技術已成為國際存儲器領域的重要架構之一。