《拋光劑配方與生產》收集了200餘種拋光劑製備實例，詳細介紹了產品的原料配比、製備方法、原料配伍、套用和特性。《拋光劑配方與生產》共分為四大部分，分別是：金屬拋光劑，半導體、積體電路等電子工業用拋光劑，玻璃、陶瓷、晶體等無機材料用拋光劑，其他拋光劑。
基本介紹
- 書名：拋光劑配方與生產
- 類型：科技
- 出版日期：2012年11月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：7122147770, 9787122147776
- 作者：李東光
- 出版社：化學工業出版社
- 頁數：345頁
- 開本：32
- 品牌：化學工業出版社
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《拋光劑配方與生產》適用於化學研究人員使用。
圖書目錄
一、金屬拋光劑H62黃銅拋光液1
K金首飾無氰電解拋光液1
SiSb基相變材料用化學機械拋光液2
ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液4
不鏽鋼化學拋光液（1）5
不鏽鋼化學拋光液（2）6
不鏽鋼化學拋光液（3）7
不鏽鋼製品的化學拋光劑7
防潮型白拋光膏8
防凍型拋光液9
高純度納米金剛石拋光膏10
高純度納米金剛石拋光液12
高精度氧化鋁拋光液14
高濃度Ti阻擋層表面化學機械拋光液14
高去除率、低損傷的銅化學機械拋光液16
含氫氟酸的鋁型材酸性拋光劑17
核/殼型複合納米磨料矽片拋光液18
核/殼型複合納米磨料銅化學機械拋光液20
化學機械拋光液（1）21
化學機械拋光液（2）23
化學機械拋光液（3）24
化學機械拋光液（4）29
化學機械拋光液（5）30
化學機械拋光液（6）32
化學機械拋光液（7）33
化學機械拋光液（8）43
化學機械拋光液（9）44
化學機械拋光液（10）45
化學機械拋光液（11）47
化學機械拋光液（12）48
化學機械拋光液（13）49
化學機械拋光液（14）51
化學機械拋光液（15）52
化學機械拋光液（16）53
化學機械拋光液（17）56
化學機械拋光液（18）57
化學機械拋光液（19）59
化學機械拋光液（20）60
化學機械拋光液（21）61
化學機械拋光液（22）63
化學機械拋光液（23）65
化學機械拋光液（24）66
化學機械拋光液（25）70
化學機械拋光液（26）72
化學機械拋光液（27）73
化學機械拋光液（28）74
化學機械拋光液（29）76
化學機械拋光液（30）78
化學機械拋光液（31）81
化學機械拋光液（32）83
化學機械拋光液（33）84
化學機械拋光液（34）86
化學機械拋光液（35）89
化學機械拋光液（36）93
化學機械拋光液（37）98
化學機械拋光液（38）102
化學機械拋光液（39）103
化學機械拋光液（40）104
化學機械拋光液（41）105
化學機械拋光液（42）106
化學機械拋光液（43）107
化學機械拋光液（44）108
化學機械拋光液（45）109
化學機械拋光液（46）110
化學機械拋光液（47）111
化學機械拋光液（48）114
化學機械拋光液（49）116
化學機械拋光液（50）122
化學機械拋光液（51）126
化學機械拋光液（52）129
化學機械拋光液（53）131
化學機械拋光液（54）135
化學機械拋光液（55）136
化學機械拋光液（56）137
化學機械拋光液（57）139
化學機械拋光液（58）140
化學拋光劑142
黃色拋光膏143
鹼性矽晶片拋光液143
降低銅化學機械拋光粗糙度的拋光液144
金屬表面拋光膏146
石腦油金屬拋光劑146
礦物油金屬拋光劑146
水溶膠金屬拋光液147
金屬銅的拋光液（1）148
金屬銅的拋光液（2）149
金屬振動拋光液151
鋁合金電解拋光液152
鋁合金用拋光液154
鋁和鋁合金的化學拋光液155
鋁及鋁合金材料拋光液155
鋁及鋁合金的電化學拋光液157
鋁製品化學拋光液158
馬氏體高合金耐熱鋼金相檢測拋光劑158
鎂合金用拋光液159
鎂鋁合金材料表面化學機械拋光液160
納米氧化鈰複合磨粒拋光液162
濃酸拋光劑163
酸拋光液163
淺溝槽隔離拋光液165
取代銅酸洗工藝的處理銅及銅合金表面的拋光液166
水基金剛石拋光液167
水基納米金剛石拋光液168
鈦及鈦合金拋光液170
鈦鎳合金電化學拋光液173
鉭化學機械拋光液174
銅拋光中用的納米二氧化矽磨料拋光液174
銅製品拋光劑176
鎢拋光液（1）176
鎢拋光液（2）177
鋅和鉻加工用的納米二氧化矽磨料拋光液178
醫用NiTi形狀記憶合金拋光液179
用於不鏽鋼鏡面的拋光液180
用於化學機械研磨的拋光液181
用於鉭阻擋拋光的化學機械的拋光液184
用於銅製程的化學機械拋光液（1）185
用於銅製程的化學機械拋光液（2）187
用於鎢化學機械拋光的拋光液189
用於氧化釩化學機械拋光的納米拋光液189
用於阻擋層拋光的化學機械拋光液191
有色金屬材料表面清潔拋光膏195
阻擋層化學機械拋光液196
用於低碳鋼納米壓入試樣的拋光液200
二、半導體、積體電路等電子工業用拋光劑半導體晶片精密化學機械拋光劑202
半導體銻化銦化學機械拋光液202
超大規模積體電路多層銅布線化學機械全局平面化拋光液204
超大規模積體電路多層銅布線中銅與鉭的化學機械全局平面化拋光液206
超大規模積體電路矽襯底的化學機械拋光液207
超大規模積體電路鋁布線拋光液（1）208
超大規模積體電路鋁布線拋光液（2）209
大尺寸矽片用化學機械拋光液211
低介電材料拋光液213
多晶矽化學機械拋光液（1）214
多晶矽化學機械拋光液（2）215
多晶矽拋光液218
高介電材料鈦酸鍶鋇化學機械拋光液220
高精度複合拋光液223
高精度拋光液223
矽單晶襯底材料拋光液224
含有混合磨料的低介電材料拋光液（1）226
含有混合磨料的低介電材料拋光液（2）227
化學機械拋光半導體晶片用的拋光液229
化學機械拋光單晶氧化鎂基片用的拋光液230
極大規模積體電路多層布線中鎢插塞的拋光液231
積體電路銅互連結構中銅的電化學機械拋光液232
鹼性計算機硬碟拋光液233
降低矽片表面微劃傷的拋光液234
介電層拋光液236
晶圓粗拋光液237
晶圓精拋光液238
具有特殊緩衝體系的矽片化學機械拋光液239
可循環使用的拋光液240
藍寶石襯底材料CMP拋光液241
藍寶石襯底拋光液（1）242
藍寶石襯底拋光液（2）244
藍寶石襯底加工專用拋光液245
高效高精度藍寶石拋光液246
用於藍寶石圓棒膠木輪的拋光膏246
微鹼性藍寶石拋光液247
納米二氧化矽拋光劑248
拋光低介電材料的拋光液249
硬碟磁頭的拋光液250
硬碟磷化銦基板CMP拋光液252
用於大規模積體電路多層布線中鎢插塞的拋光液254
用於單晶矽片化學機械拋光的拋光液256
用於多晶矽拋光的化學機械拋光液257
用於計算機硬碟基片化學機械拋光的拋光液258
用於拋光半導體封蓋層的拋光液261
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（1）261
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（2）262
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（3）263
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（4）265
用於砷化鎵晶片的拋光液266
用於硬碟NiP的電化學機械拋光的拋光液267
用於硬碟基片的拋光液268
用於鍺晶片的拋光液268
有機鹼腐蝕介質的稀土拋光液269
硫系化合物相變材料化學機械拋光的納米拋光液271
硫系化合物相變材料氧化鈰化學機械拋光液273
硫系相變材料化學機械拋光的無磨料拋光液275
納米級拋光液278
銻化銦材料表面化學機械拋光液279
三、玻璃、陶瓷、晶體等無機材料用拋光劑鈮酸鋰晶體拋光液281
非水基磁流變拋光液282
電子玻璃的納米SiO2磨料拋光液284
二氧化矽介質化學機械拋光液286
高效無劃傷玻璃拋光液288
磷酸氧鈦鉀晶體CMP拋光液289
納米二氧化矽磨料拋光液290
微晶玻璃加工用納米二氧化矽磨料拋光液（1）291
微晶玻璃加工用納米二氧化矽磨料拋光液（2）293
微晶玻璃拋光液294
硬脆材料化學機械拋光用無磨料拋光液295
用於玻璃材料的拋光液296
用於大尺寸金剛石晶圓超精密低損傷拋光的拋光液297
用於光學加工的水基磁流變拋光液298
用於介質材料平坦化的拋光液300
用於磷酸氧鈦鉀晶體的化學機械拋光液301
用於鈮酸鋰光學晶片研磨拋光的拋光液（1）303
用於鈮酸鋰光學晶片研磨拋光的拋光液（2）304
用於拋光低介電材料的化學機械拋光液306
用於拋光低介電材料的拋光液307
用於拋光低介電材料的拋光液311
用於硼酸鋰銫晶體的化學機械無水拋光液312
用於軟脆易潮解晶體的非水基無磨料拋光液314
用於微晶玻璃研磨拋光的拋光液314
四、其他拋光劑用於表面拋光為10級的寶石圓球的拋光液317
車用多功能一體化清潔拋光劑318
環保型汽車劃痕拋光膏319
交聯型環保汽車拋光劑320
混合拋光液321
不含氟的拋光劑321
除藻型拋光液322
低光澤拋光劑（1）324
低光澤拋光劑（2）326
活性拋光劑327
木質地板、家具護理用的拋光組合物329
木質油精地板、家具上光保護劑（1）330
木質油精地板、家具上光保護劑（2）331
地板保養上光劑332
拋光磚、石材、人造石翻新用拋光劑334
拋光磚專用化學拋光劑335
皮革、石材增光保護劑335
石板材上光蠟337
石材保護劑338
石材鏡面效果拋光膏340
石材上光蠟341
新型拋光劑342
用於二氧化矽介質的拋光液343
參考文獻
K金首飾無氰電解拋光液1
SiSb基相變材料用化學機械拋光液2
ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液4
不鏽鋼化學拋光液（1）5
不鏽鋼化學拋光液（2）6
不鏽鋼化學拋光液（3）7
不鏽鋼製品的化學拋光劑7
防潮型白拋光膏8
防凍型拋光液9
高純度納米金剛石拋光膏10
高純度納米金剛石拋光液12
高精度氧化鋁拋光液14
高濃度Ti阻擋層表面化學機械拋光液14
高去除率、低損傷的銅化學機械拋光液16
含氫氟酸的鋁型材酸性拋光劑17
核/殼型複合納米磨料矽片拋光液18
核/殼型複合納米磨料銅化學機械拋光液20
化學機械拋光液（1）21
化學機械拋光液（2）23
化學機械拋光液（3）24
化學機械拋光液（4）29
化學機械拋光液（5）30
化學機械拋光液（6）32
化學機械拋光液（7）33
化學機械拋光液（8）43
化學機械拋光液（9）44
化學機械拋光液（10）45
化學機械拋光液（11）47
化學機械拋光液（12）48
化學機械拋光液（13）49
化學機械拋光液（14）51
化學機械拋光液（15）52
化學機械拋光液（16）53
化學機械拋光液（17）56
化學機械拋光液（18）57
化學機械拋光液（19）59
化學機械拋光液（20）60
化學機械拋光液（21）61
化學機械拋光液（22）63
化學機械拋光液（23）65
化學機械拋光液（24）66
化學機械拋光液（25）70
化學機械拋光液（26）72
化學機械拋光液（27）73
化學機械拋光液（28）74
化學機械拋光液（29）76
化學機械拋光液（30）78
化學機械拋光液（31）81
化學機械拋光液（32）83
化學機械拋光液（33）84
化學機械拋光液（34）86
化學機械拋光液（35）89
化學機械拋光液（36）93
化學機械拋光液（37）98
化學機械拋光液（38）102
化學機械拋光液（39）103
化學機械拋光液（40）104
化學機械拋光液（41）105
化學機械拋光液（42）106
化學機械拋光液（43）107
化學機械拋光液（44）108
化學機械拋光液（45）109
化學機械拋光液（46）110
化學機械拋光液（47）111
化學機械拋光液（48）114
化學機械拋光液（49）116
化學機械拋光液（50）122
化學機械拋光液（51）126
化學機械拋光液（52）129
化學機械拋光液（53）131
化學機械拋光液（54）135
化學機械拋光液（55）136
化學機械拋光液（56）137
化學機械拋光液（57）139
化學機械拋光液（58）140
化學拋光劑142
黃色拋光膏143
鹼性矽晶片拋光液143
降低銅化學機械拋光粗糙度的拋光液144
金屬表面拋光膏146
石腦油金屬拋光劑146
礦物油金屬拋光劑146
水溶膠金屬拋光液147
金屬銅的拋光液（1）148
金屬銅的拋光液（2）149
金屬振動拋光液151
鋁合金電解拋光液152
鋁合金用拋光液154
鋁和鋁合金的化學拋光液155
鋁及鋁合金材料拋光液155
鋁及鋁合金的電化學拋光液157
鋁製品化學拋光液158
馬氏體高合金耐熱鋼金相檢測拋光劑158
鎂合金用拋光液159
鎂鋁合金材料表面化學機械拋光液160
納米氧化鈰複合磨粒拋光液162
濃酸拋光劑163
酸拋光液163
淺溝槽隔離拋光液165
取代銅酸洗工藝的處理銅及銅合金表面的拋光液166
水基金剛石拋光液167
水基納米金剛石拋光液168
鈦及鈦合金拋光液170
鈦鎳合金電化學拋光液173
鉭化學機械拋光液174
銅拋光中用的納米二氧化矽磨料拋光液174
銅製品拋光劑176
鎢拋光液（1）176
鎢拋光液（2）177
鋅和鉻加工用的納米二氧化矽磨料拋光液178
醫用NiTi形狀記憶合金拋光液179
用於不鏽鋼鏡面的拋光液180
用於化學機械研磨的拋光液181
用於鉭阻擋拋光的化學機械的拋光液184
用於銅製程的化學機械拋光液（1）185
用於銅製程的化學機械拋光液（2）187
用於鎢化學機械拋光的拋光液189
用於氧化釩化學機械拋光的納米拋光液189
用於阻擋層拋光的化學機械拋光液191
有色金屬材料表面清潔拋光膏195
阻擋層化學機械拋光液196
用於低碳鋼納米壓入試樣的拋光液200
二、半導體、積體電路等電子工業用拋光劑半導體晶片精密化學機械拋光劑202
半導體銻化銦化學機械拋光液202
超大規模積體電路多層銅布線化學機械全局平面化拋光液204
超大規模積體電路多層銅布線中銅與鉭的化學機械全局平面化拋光液206
超大規模積體電路矽襯底的化學機械拋光液207
超大規模積體電路鋁布線拋光液（1）208
超大規模積體電路鋁布線拋光液（2）209
大尺寸矽片用化學機械拋光液211
低介電材料拋光液213
多晶矽化學機械拋光液（1）214
多晶矽化學機械拋光液（2）215
多晶矽拋光液218
高介電材料鈦酸鍶鋇化學機械拋光液220
高精度複合拋光液223
高精度拋光液223
矽單晶襯底材料拋光液224
含有混合磨料的低介電材料拋光液（1）226
含有混合磨料的低介電材料拋光液（2）227
化學機械拋光半導體晶片用的拋光液229
化學機械拋光單晶氧化鎂基片用的拋光液230
極大規模積體電路多層布線中鎢插塞的拋光液231
積體電路銅互連結構中銅的電化學機械拋光液232
鹼性計算機硬碟拋光液233
降低矽片表面微劃傷的拋光液234
介電層拋光液236
晶圓粗拋光液237
晶圓精拋光液238
具有特殊緩衝體系的矽片化學機械拋光液239
可循環使用的拋光液240
藍寶石襯底材料CMP拋光液241
藍寶石襯底拋光液（1）242
藍寶石襯底拋光液（2）244
藍寶石襯底加工專用拋光液245
高效高精度藍寶石拋光液246
用於藍寶石圓棒膠木輪的拋光膏246
微鹼性藍寶石拋光液247
納米二氧化矽拋光劑248
拋光低介電材料的拋光液249
硬碟磁頭的拋光液250
硬碟磷化銦基板CMP拋光液252
用於大規模積體電路多層布線中鎢插塞的拋光液254
用於單晶矽片化學機械拋光的拋光液256
用於多晶矽拋光的化學機械拋光液257
用於計算機硬碟基片化學機械拋光的拋光液258
用於拋光半導體封蓋層的拋光液261
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（1）261
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（2）262
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（3）263
用於拋光多晶矽的化學機械拋光液（4）265
用於砷化鎵晶片的拋光液266
用於硬碟NiP的電化學機械拋光的拋光液267
用於硬碟基片的拋光液268
用於鍺晶片的拋光液268
有機鹼腐蝕介質的稀土拋光液269
硫系化合物相變材料化學機械拋光的納米拋光液271
硫系化合物相變材料氧化鈰化學機械拋光液273
硫系相變材料化學機械拋光的無磨料拋光液275
納米級拋光液278
銻化銦材料表面化學機械拋光液279
三、玻璃、陶瓷、晶體等無機材料用拋光劑鈮酸鋰晶體拋光液281
非水基磁流變拋光液282
電子玻璃的納米SiO2磨料拋光液284
二氧化矽介質化學機械拋光液286
高效無劃傷玻璃拋光液288
磷酸氧鈦鉀晶體CMP拋光液289
納米二氧化矽磨料拋光液290
微晶玻璃加工用納米二氧化矽磨料拋光液（1）291
微晶玻璃加工用納米二氧化矽磨料拋光液（2）293
微晶玻璃拋光液294
硬脆材料化學機械拋光用無磨料拋光液295
用於玻璃材料的拋光液296
用於大尺寸金剛石晶圓超精密低損傷拋光的拋光液297
用於光學加工的水基磁流變拋光液298
用於介質材料平坦化的拋光液300
用於磷酸氧鈦鉀晶體的化學機械拋光液301
用於鈮酸鋰光學晶片研磨拋光的拋光液（1）303
用於鈮酸鋰光學晶片研磨拋光的拋光液（2）304
用於拋光低介電材料的化學機械拋光液306
用於拋光低介電材料的拋光液307
用於拋光低介電材料的拋光液311
用於硼酸鋰銫晶體的化學機械無水拋光液312
用於軟脆易潮解晶體的非水基無磨料拋光液314
用於微晶玻璃研磨拋光的拋光液314
四、其他拋光劑用於表面拋光為10級的寶石圓球的拋光液317
車用多功能一體化清潔拋光劑318
環保型汽車劃痕拋光膏319
交聯型環保汽車拋光劑320
混合拋光液321
不含氟的拋光劑321
除藻型拋光液322
低光澤拋光劑（1）324
低光澤拋光劑（2）326
活性拋光劑327
木質地板、家具護理用的拋光組合物329
木質油精地板、家具上光保護劑（1）330
木質油精地板、家具上光保護劑（2）331
地板保養上光劑332
拋光磚、石材、人造石翻新用拋光劑334
拋光磚專用化學拋光劑335
皮革、石材增光保護劑335
石板材上光蠟337
石材保護劑338
石材鏡面效果拋光膏340
石材上光蠟341
新型拋光劑342
用於二氧化矽介質的拋光液343
參考文獻
