本書在概述了微機電系統技術(MEMS)的發展背景、現狀及套用前景的基礎上，論述了MEMS基本理論基礎，並對MEMS相關工藝做了詳盡的介紹。書中分別介紹了MEMS套用，數種典型的物理感測器和化學感測器的工作原理及製造工藝；對各類微操作器/微執行器、微機械零件、微泵及微機電系統也做了比較詳細的論述，之後介紹了與生物晶片相關的技術及納米技術。
基本介紹
- 書名：微納米技術及其套用
- 作者：李德勝
- ISBN：703015288
- 定價：定價:48.0
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2005-01-01
- 開本：16開
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書可供微電子、機電一體化、精密儀器及儀表等專業研究與技術人員參考，也可作為相關專業高年級與研究生的教學參考書。
圖書目錄
總序
前言
第一章 緒論
1.1 MEMS的定義
1.2 國內外研究概況及展望
1.3 納米技術及展望
第二章 MEMs基礎理論
2.1 尺寸效應
2.2 微機械常用材料
2.3 微構造的機械特性
2.4 微構造的振動特性
2.5 微構造的熱特性
2.6 摩擦磨耗的減少辦法
2.7 微流路中液體的流動
2.8 微機械的驅動原理
2.9 超小型機械實現的障礙及對策
第三章 微機械製造技術
3.1 概j盔
3.2 體加工工藝
3.3 矽表面微機械加工技術
3.4 結合加工
3.5 逐次加工
3.6 LIGA技術
3.7 微機械加工技術中的微電子工藝和設備
3.8 本章小結
第四章 MEMscAD輔助分析和設計
4.1 ANSYS的主要技術特點
4.2 ANSYS使用中幾個應注意的問題
4.3 ANSYS的分析步驟
4.4 微型電磁繼電器受力及磁場分布的ANsYS模擬
4.5 ANsYS仿真分析的一些經驗
4.6 Coventorware的主要技術特點
4.7 Coventorware分析的基本步驟
4.8 懸臂樑與矽基底間電容的計算和懸臂樑的受力分析
第五章 微感測器
5.1 感測器的基本物理效應
5.2 壓阻效應與半導體應變感測器
5.3 電容式三維加速度計
5.4 振動式微陀螺儀
5.5 微型熱式濕度感測器
5.6 微型光柵讀碼器
5.7 微型磁通門
第六章 微操作器
6.1 靜電型微操作器
6.2 電磁型微操作器
6.3 熱膨脹型操作器
6.4 壓電型微操作器
6.5 微機械零件
第七章 微泵
7.1 壓電陶瓷的振動解析
7.2 單向流動原理及泵流量
7.3 微閥機構
7.4 壓電微泵
第八章 微機電系統
8.1 微機電系統的特點
8.2 微機電系統所面臨的課題
8.3 微機電系統介紹
第九章 生物晶片
9.1 概述
9.2 生物晶片中常用的幾種檢測原理
9.3 生物晶片加工技術
9.4 生折晶片
9.5 結論
第十章 納米技術
10.1 概述
10.2 納米材料
10.3 納米級加工技術
10.4 納米測量技術
10.5 結束語
參考文獻
